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光譜共焦傳感器在激光隱切技術（激光隱形切割）晶圓切割中發揮了哪些作用？

2023 - 09 - 25

由于半導體生產工藝的復雜性和精密性，對晶圓切割的技術要求極高，傳統的機械切割方式已經無法滿足現代電子行業的需求。在這種情況下，光譜共焦位移傳感器配合激光隱切技術（激光隱形切割）在晶圓切割中發揮了重要作用。以下將詳細介紹這種新型高效切割技術的應用案例及其優勢。原理：利用小功率的激光被光譜共焦位移傳感器設定的預定路徑所導，聚焦在直徑只有100多納米的光斑上，形成巨大的局部能量，然后根據這個能量將晶圓切割開。光譜共焦位移傳感器在切割過程中實時檢測切口深度和位置，確保切口的深廣和位置的精確性。激光隱切與光譜共焦位移傳感器結合的應用案例：以某種先進的半導體制程為例，晶圓經過深刻蝕、清洗、擴散等步驟后，需要進行精確切割。在這個過程中，首先，工程師根據需要的切割圖案在軟件上設定好切割路徑，然后切割機通過光譜共焦位移傳感器引導激光按照預定的路徑且此過程工程師可以實時觀察和測量切口深度和位置。優點：這種技術最大的優勢就是它能夠實現超微細切割，避免了大功率激光對芯片可能會帶來的影響。另外，因為切割的深度和位置可以實時調控，這法也非常具有靈活性。同時，由于使用光譜共焦位移傳感器精確控制切割的深度和位置，所以切割出來的晶圓表面平整，質量更好。總的來看，光譜共焦位移傳感器配合激光隱切在晶圓切割中的應用，不僅提升了生產效率，減少了廢品率，而且大幅度提升了產品質量，對于當前和未來的半導體行業都將是一個革新的技...
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非接觸式激光傳感器在生產線上的應用有哪些優勢？

2024 - 03 - 05

非接觸式激光位移傳感器在生產線上的應用具有多方面的優勢，下面將從精度、速度、可靠性、靈活性和安全性等方面進行逐一分析，并通過具體的應用場景來說明其應用價值。同時，還會與傳統的接觸式傳感器進行比較，以突顯非接觸式激光位移傳感器的獨特優勢。精度：非接觸式激光位移傳感器采用激光三角測量法，具有極高的測量精度。例如，在半導體制造過程中，需要精確控制薄膜的厚度，非接觸式激光位移傳感器可以實現微米級的測量精度，從而確保產品質量。相比之下，傳統接觸式傳感器可能會因為接觸力度的不同而影響測量精度。速度：非接觸式激光位移傳感器具有快速響應的特點，可以在生產線上實現高速測量。例如，在包裝機械中，需要實時監測包裝材料的位置和速度，非接觸式激光位移傳感器可以迅速捕捉到這些變化，從而確保包裝過程的順利進行。而傳統接觸式傳感器可能會因為接觸摩擦等因素而影響測量速度。可靠性：非接觸式激光位移傳感器無需與目標物體直接接觸，因此可以避免因摩擦、磨損等因素導致的傳感器損壞。此外，非接觸式傳感器還具有較好的抗干擾能力，可以在惡劣的生產環境中穩定工作。相比之下，傳統接觸式傳感器更容易受到環境因素的影響而出現故障。靈活性：非接觸式激光位移傳感器可以適應不同的測量需求，通過調整激光發射角度、接收透鏡焦距等參數，可以實現不同距離、不同角度的測量。此外，非接觸式傳感器還可以與計算機、PLC等設備進行連接，實現自動化控制和數據處理...
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泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 國產激光位移傳感器替代進口基恩士 IL-S025 的技術可行性研究

2025 - 03 - 27

1. 引言在工業自動化領域，激光位移傳感器是實現高精度非接觸測量的核心器件。基恩士 IL-S025 作為市場主流產品，以其 1μm 重復精度和穩定性能著稱。然而，隨著國產傳感器技術的突破，泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 型號憑借更高的性能參數和經濟性，為用戶提供了新的選擇。本文將從技術參數、性能表現、應用場景等方面，深入對比分析兩者的替代可行性。 2. 核心技術參數對比參數基恩士 IL-S025泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W對比結論重復精度1μm0.25μm（LTM3-030）/ 0.25μm（LTM3-030W）LTM3 系列更優（4 倍精度提升）線性誤差±0.075% F.S.（±5mm 范圍）LTM3-030W 更優（接近 IL-S025）測量范圍±5mm（參考距離 25mm）±5mm（參考距離 30mm）等效采樣頻率3kHz（采樣周期 0.33ms）10kHzLTM3 系列更優（3倍速度提升）光斑尺寸25×1200μm（線性光斑）Φ35μm（M3-030）/ Φ35×400μm（M3-030W）LTM3 系列光斑更小（點光斑更聚焦）光源類型660nm 激光（Class 2）655nm 激光（Class 2）等效接口配置需外接放大器單元（支持 EtherNet/IP 等）...
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激光測量技術在（ADAS）駕駛輔助系統的應用案例（一）

2025 - 01 - 16

一、引言1.1 研究背景與目的在汽車行業邁向智能化與自動化的進程中，先進駕駛輔助系統（ADAS）作為關鍵技術，正發揮著愈發重要的作用。ADAS 憑借多種傳感器與智能算法，能夠實時監測車輛周邊環境，為駕駛員提供預警與輔助控制，極大地提升了駕駛的安全性與舒適性。本報告旨在深入剖析《ADAS 相關工具核心功能 & 技術》中所涉及的 ADAS 相關工具應用案例，通過詳細描述各案例的具體應用場景、工作原理及達成的效果，深度挖掘這些工具在汽車制造及 ADAS 系統開發過程中的重要價值，為行業內相關人員提供具有實際參考意義的信息，助力推動 ADAS 技術的進一步發展與廣泛應用。 1.2 研究方法與數據來源本報告通過對《ADAS 相關工具核心功能 & 技術》進行全面細致的整理與深入分析，從中系統地提取出各類 ADAS 相關工具的應用案例。在分析過程中，對每個案例的技術原理、應用場景以及所實現的功能進行了詳細闡述，并結合實際情況進行了深入探討。本文所引用的 ADAS 相關工具的應用案例及技術原理均來自《ADAS 相關工具核心功能 & 技術》文檔，該文檔為此次研究提供了豐富且詳實的一手資料，確保了研究的準確性與可靠性。二、車載相機應用案例剖析2.1 底部填充膠涂抹高度測量2.1.1 案例描述在汽車電子制造中，車載相機的底部填充膠涂抹高度對于確保相機的...
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一場穿越空間的光電舞蹈: TOF激光測距傳感器解碼記

2023 - 09 - 20

首先，讓我們對TOF進行一次短暫的“速讀”——它全稱叫'time-of-flight'，中文怎么說呢？風格灑脫地稱之為“飛行時間”。你沒聽錯，就是“飛行時間”。所有的顛覆與創新始于赤裸裸的想象，對吧？再來回過頭，看看我們的主角TOF激光測距傳感器。激光這東西，我想你肯定不陌生。科幻大片，醫美廣告里都被頻繁提及。對這位明星，我們暫時按下暫停鍵，我們聊一聊測距傳感器——那可是能把復雜的三維世界，硬是證明成一串串精準數據的硬核工具。當然，他倆的組合，并不是偶然撞壁造成的火花。在“鷹眼”TOF的身上，激光變得更加酷炫，傳感器技術也變得更為深邃。他們共舞的主線，就是光的飛行時間。想象一下，要在現實世界計算出光從物體發射出來，然后反射回傳感器的時間。你愣了一秒，覺得好像進入了'黑洞'的領域。實則不然，TOF激光測距傳感器就是這樣“耳提面命”。它以光速旅行者的姿態，穿越空間，告訴我們物體與之間的距離。親，你有聽說過光速嗎？大約每秒走30萬公里哦，這個速度足夠你在一秒鐘內去繞地球七點五圈了！TOF激光測距傳感器就是他們利用這么一個迅疾的光速，再加上高精度的時鐘，來高效精確地計算出飛行時間并轉化為距離數據。小編想說，TOF不僅玩科技，他更玩智謀，戰勝了同類的超聲波、紅外線等測距設備。畢竟，被物的顏色、亮度、表面材質，或者環境的溫濕度對他來說都不構成鎖鏈。準確到“下毛...
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案例應用 | 基于光譜共焦技術的DPC陶瓷基板金屬層測厚方案

2025 - 03 - 06

背景與挑戰隨著電子封裝技術的快速發展，直接鍍銅陶瓷基板（DPC）因具備優異的導熱性、機械強度及耐高溫性能，被廣泛應用于大功率LED、IGBT模塊等領域。然而，其表面金屬鍍層的厚度均勻性直接影響器件的散熱效率與可靠性。某客戶需對一批DPC基板進行全檢，要求**在正反面各選取10個金屬塊（含2個重復基準點）**進行高精度厚度測量，并同步獲取表面輪廓與中心區高度數據，以滿足嚴格的工藝質量控制標準。解決方案針對客戶需求，我們采用LTC1200系列光譜共焦傳感器（配套高精度運動平臺與測控軟件），設計了一套非接觸式三維測厚方案：設備選型量程：±600μm（覆蓋金屬層典型厚度范圍）重復精度：0.03μm（靜態，確保基準點數據一致性）線性誤差：＜±0.3μm（滿足亞微米級公差要求）采樣頻率：10kHz（高速掃描提升檢測效率）選用LTC1200B型號傳感器（光斑直徑約19μm），兼顧測量精度與金屬表面反射特性需求，其技術參數如下：搭配亞微米級定位平臺，確保掃描路徑精確控制。基準點設定以陶瓷基板裸露區域作為基準面，在正反面各設置2個重復測量點，通過傳感器實時比對基準高度數據，消除基板翹曲或裝夾誤差對厚度計算的影響。實施流程數據采集：沿預設路徑掃描金屬塊，同步記錄輪廓點云與中心區高度（軟件自動擬合最高點作為厚度參考值）。厚度計算：基于公式：\text{金屬層厚度} = \text{金...
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如何利用光譜共焦傳感器來檢測薄膜生產中的薄厚偏差？

2023 - 09 - 25

在高精度的生產工序中，薄膜偏差是一項極為重要的控制指標。由于微觀材料結構的敏感性，稍有偏差就可能會導致產品的細微變形，從而引發性能下降、使用壽命縮短等一系列問題。因此，對薄膜偏差的精確檢測與實時調控具有至關重要的意義。對于這樣的需求，光譜共焦位移傳感器便能發揮出它重要的作用。通過實現對薄膜厚度的非接觸式實時監視，它可以有效地預防或及時地調整可能發生的偏差，提高生產過程中的精準度和穩定性。原理上，光譜共焦位移傳感器利用光源通過物體后的干涉進行測量，借助高精度的光學系統和高靈敏的光電檢測設備，最終得出偏差情況。另一方面，光譜共焦位移傳感器具有小型化的優勢。它采用集成設計，尺寸小巧，可以安裝在設備內的有限空間中，且不會影響主機性能。這大大擴展了其使用場景，讓即使是較為狹小的環境也能實現精確的監控。總結來說，光譜共焦位移傳感器代表著未來高精密度生產領域的主流趨。其不僅具備高精度、快反應、難以受到環境干擾等優點，還由于其小型化、適用于狹窄環境等特性，使其逐漸被更多的高科技領域所接受和采納。
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激光三角測量法是如何實現對透明物體測量的？折射率校正在這個過程中起到了什么作用？

2024 - 03 - 05

激光三角測量法：精確測量透明物體的科技新突破在精密測量領域，激光三角測量法已成為一種非常重要的技術手段。這種測量方法尤其適用于透明物體的測量，因為它可以有效地解決透明物體測量中的諸多難題。本文將詳細介紹激光三角測量法的原理、步驟，以及折射率校正在此過程中所起到的關鍵作用。一、激光三角測量法的原理激光三角測量法是一種基于光學三角測量原理的非接觸式測量方法。其基本原理是：半導體激光器發出的激光束照射在目標物體上，接收器透鏡聚集目標物體反射的光線并聚焦到感光元件上。當目標物體與測量設備之間的距離發生改變時，通過接收器透鏡的反射光的位置也會相應改變，光線聚焦在感光元件上的部分也會有所不同。通過精確測量這些變化，就可以得出目標物體的位移、形狀等參數。二、激光三角測量法的步驟設定參照距離：首先，需要設定一個參照距離，即在此距離下，激光束與感光元件之間的位置關系已知且穩定。照射激光：然后，通過半導體激光器發出激光束，照射在待測的透明物體上。接收反射光：接收器透鏡會聚集從透明物體反射回來的光線，并將其聚焦到感光元件上。分析數據：當透明物體移動或形狀發生變化時，反射光在感光元件上的位置也會發生變化。通過精確分析這些變化，就可以得出透明物體的位移、形狀等參數。三、折射率校正的作用在測量透明物體時，一個關鍵的問題是需要考慮光的折射現象。由于透明物體的折射率與空氣不同，光線在從空氣進入透明物體時會發生折射...

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藍光光源激光位移傳感器：優勢、原理與特殊場景解決方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工業精密測量中，傳統紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場景限制，而藍光光源（405nm 波長）憑借獨特物理特性實現突破。以下通過 “一問一答” 形式，詳解藍光傳感器的優勢、原理構造，并結合泓川科技 LTP 系列定制方案，看其如何解決特殊環境測量難題。1. 藍光光源激光位移傳感器相比傳統紅光，核心優勢是什么？藍光傳感器的核心優勢源于 405nm 波長的物理特性，相比傳統 655nm 左右的紅光，主要體現在三方面：更高橫向分辨率：根據瑞利判據，光學分辨率與波長成反比。藍光波長僅為紅光的 62%（405nm/655nm≈0.62），相同光學系統下橫向分辨率可提升約 38%，能形成更小光斑（如泓川 LTP025 藍光版光斑最小達 Φ18μm），適配芯片針腳、晶圓等微米級結構測量。更強信號穩定性：藍光單光子能量達 3.06eV，遠高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料（如橡膠、有機涂層）表面，能激發出更強散射信號；同時穿透性更低，僅在材料表層作用，避免內部折射干擾，適合表面精準測量。更優抗干擾能力：藍光波段與紅熱輻射（500nm 以上）、戶外強光（可見光為主）重疊度低，搭配專用濾光片后，可有效隔絕高溫物體自發光、陽光直射等干擾，這是紅光難以實現的。2. 藍光激光位移傳感器的原理構造是怎樣的？為何能實現高精度測量？藍光傳感器的高精度的核心是 “光學設計 + 信號處理 + ...

泓川科技國產系列光譜共焦/激光位移傳感器/白光干涉測厚產品性能一覽 2025 - 09 - 05 高精度測量傳感器全系列：賦能精密制造，適配多元檢測需求聚焦半導體、光學膜、機械加工等領域的精密檢測核心痛點，我們推出全系列高性能測量傳感器，覆蓋 “測厚、對焦、位移” 三大核心應用場景，以 “高精準、高速度、高適配” 為設計核心，為您的工藝控制與質量檢測提供可靠技術支撐。以下為各產品系列的詳細介紹：1.LTS-IR 紅外干涉測厚傳感器：半導體材料測厚專屬核心用途：專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導體材料設計，精準實現晶圓等器件的厚度測量。性能優點：精度卓越：±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復精度，確保測量數據穩定可靠；量程適配：覆蓋 10μm2mm 測厚范圍，滿足多數半導體材料檢測需求；高效高速：40kHz 采樣速度，快速捕捉厚度數據，適配在線檢測節奏；靈活適配：寬范圍工作距離設計，可靈活匹配不同規格的檢測設備與場景。2. 分體式對焦傳感器：半導體 / 面板缺陷檢測的 “高速對焦助手”核心用途：針對半導體、面板領域的高精度缺陷檢測場景，提供高速實時對焦支持，尤其適配顯微對焦類檢測設備。性能優點：對焦速度快：50kHz 高速對焦，同步匹配缺陷檢測的實時性需求；對焦精度高：0.5μm 對焦精度，保障缺陷成像清晰、檢測無偏差；設計靈活：分體式結構，可根據檢測設備的安裝空間與布局靈活調整，降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀：極薄膜厚檢測的 “精密管家”核心用途：專注于極薄膜...

多方面研究泓川科技LTP系列大量程全國產激光位移傳感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移傳感器產品技術報告尊敬的客戶：感謝您對泓川科技激光位移傳感器產品的關注與信任。為幫助您全面了解我司產品，現將激光位移傳感器相關技術信息從參數指標、設計原理、結構設計等八大核心維度進行詳細說明，為您的選型、使用及維護提供專業參考。一、參數指標我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列，各型號核心參數經納米級高精度激光干涉儀標定驗證，確保數據精準可靠，具體參數如下表所示：表 1：LTP400EA參數表參數類別具體參數LTP400EA備注基礎測量參數測量中心距離400mm以量程中心位置計算（*1）量程200mm-重復精度（靜態）3μm測量標準白色陶瓷樣件，50kHz 無平均，取 65536 組數據均方根偏差（*2）線性度±0.03%F.S.（F.S.=200mm）采用納米級激光干涉儀標定（*3）光源與光斑光源類型-激光功率可定制，部分型號提供 405nm 藍光版本（*4）光束直徑聚焦點光斑 Φ300μm中心位置直徑，兩端相對變大（*5）電氣參數電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護反向連接保護、過電流保護-輸出與通信模擬量輸出（選配）電壓：0-5V/010V/-1010V；電流：420mA探頭可獨立提供電壓、電流與 RS485 輸出（*6）通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊（*7）響應...

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光譜共焦位移探頭LTC6000，測量范圍40±3mm，線性誤差1.2um

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