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產(chǎn)品名稱：
LTM-150激光位移150mm量程150um線性精度，2um重復(fù)精度，50Khz響應(yīng)速度

上市日期： 2025-03-24

Detail

細(xì)節(jié)展示

核心系列差異

特性	LTM2系列	LTM3系列	LTM5系列
采樣速度	5kHz	10kHz	以太網(wǎng)31.25kHz 模擬量50kHz
軟件支持	不支持電腦連接	支持TSLaserStudio軟件及數(shù)據(jù)保存	支持TSLaserStudio軟件及數(shù)據(jù)保存
接口類型	RS485/模擬信號(hào)（二選一）	以太網(wǎng)+RS485+模擬信號(hào)	以太網(wǎng)+RS485+模擬信號(hào)

詳細(xì)參數(shù)對(duì)比（150mm量程型號(hào)）

型號(hào)	測(cè)量范圍	光斑尺寸	重復(fù)精度	線性誤差	重量	采樣頻率	核心功能
LTM2-150	150±75mm	Φ120μm	2μm	<±150μm	230g	5kHz	經(jīng)濟(jì)型，獨(dú)立工作
LTM2-150W	150±75mm	Φ120*1500μm	2μm	<±113μm	230g	5kHz	寬光斑優(yōu)化，更高精度
LTM3-150	150±75mm	Φ120μm	2μm	<±150μm	150g	10kHz	中速采樣，支持軟件調(diào)試
LTM3-150W	150±75mm	Φ120*1500μm	2μm	<±113μm	150g	10kHz	寬光斑+軟件調(diào)試
LTM5-150	150±75mm	Φ120μm	3.5μm	<±150μm	150g	50kHz（模擬量）	超高速采樣，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
LTM5-150W	150±75mm	Φ120*1500μm	3.5μm	<±113μm	150g	50kHz（模擬量）	高速+寬光斑優(yōu)化

產(chǎn)品亮點(diǎn)

LTM2系列：

經(jīng)濟(jì)實(shí)用：無(wú)需控制器，獨(dú)立工作，適合大范圍基礎(chǔ)測(cè)量（如大型設(shè)備位置檢測(cè)）。
寬光斑型號(hào)（W型）：光斑擴(kuò)展至1500μm，提升對(duì)粗糙或高反光表面的適應(yīng)性（線性誤差優(yōu)化至<±113μm）。

LTM3系列：

中速采樣+軟件支持：10kHz采樣頻率，搭配以太網(wǎng)接口，可連接電腦實(shí)時(shí)調(diào)試和數(shù)據(jù)記錄。
寬光斑優(yōu)化（W型）：適配不規(guī)則表面（如鑄件、焊接縫），減少測(cè)量噪點(diǎn)。

LTM5系列：

超高速動(dòng)態(tài)測(cè)量：模擬量輸出下可達(dá)50kHz，適用于高速生產(chǎn)線（如傳送帶物體位移監(jiān)測(cè)）。
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與開發(fā)：支持TSLaserStudio軟件保存歷史數(shù)據(jù)，并提供C++/C#開發(fā)包，便于系統(tǒng)集成。

共同優(yōu)勢(shì)

工業(yè)級(jí)防護(hù)：IP67防護(hù)等級(jí)，耐粉塵、油污及潮濕環(huán)境，適應(yīng)嚴(yán)苛工業(yè)場(chǎng)景。
多接口兼容：支持RS485、模擬量（±10V/4-20mA），M3/M5額外配備以太網(wǎng)，適配復(fù)雜工業(yè)網(wǎng)絡(luò)。
低功耗穩(wěn)定運(yùn)行：9-36V寬電壓輸入，功耗僅2.0W，支持長(zhǎng)期連續(xù)工作。
人機(jī)交互便捷：數(shù)字屏顯+物理按鍵，實(shí)時(shí)顯示測(cè)量值，支持閾值報(bào)警設(shè)置。

選型建議

基礎(chǔ)大范圍測(cè)量：選擇LTM2系列（如LTM2-150W），成本低且寬光斑適配性強(qiáng)。
中端調(diào)試需求：LTM3系列（如LTM3-150W）兼顧速度與軟件功能，適合產(chǎn)線質(zhì)檢或表面檢測(cè)。
高端動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)：LTM5系列（如LTM5-150W）50kHz超高速采樣，適配高速自動(dòng)化產(chǎn)線或科研實(shí)驗(yàn)。

Top / 精選推薦

1nm重復(fù)精度的白光干涉測(cè)厚儀LTS系列，可測(cè)厚度范圍1-100um

發(fā)布時(shí)間: 2023 - 12 - 09

10kHz的超快采樣速度LTS采用了高亮度的彩色光源、高效率的光學(xué)鏡組和高靈敏度的電子器件，能夠?qū)崿F(xiàn)行業(yè)領(lǐng)先的采樣速度，從而幫助客戶提高測(cè)量效率和加快產(chǎn)線的節(jié)拍。+20nm的超高線性精度獨(dú)立設(shè)計(jì)的高空間分辨率的白光干涉光學(xué)探頭，能夠帶來(lái)極為出色的線性特性。基于干涉原理的測(cè)厚探頭，無(wú)原理層面引入的非線性因素，只需要考慮光譜分析過(guò)程中的非線性誤差。1nm的超高重復(fù)精度采用高靈敏度、高信噪比的元器件，同時(shí)在探頭中實(shí)現(xiàn)內(nèi)部信號(hào)數(shù)字化，大大減小了噪聲干擾。同時(shí)基于干涉的測(cè)厚方式能夠大大提高傳感器對(duì)外部擾動(dòng)的抑制能力。

Details
帶可見紅色指引光的5Mhz高頻激光測(cè)振傳感器

發(fā)布時(shí)間: 2021 - 09 - 06

基于調(diào)頻連續(xù)波（FMCW）的相干接收原理，高精度的測(cè)距。實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的遠(yuǎn)距準(zhǔn)確測(cè)距。通過(guò)集成光學(xué)原理實(shí)現(xiàn)超高精度的測(cè)量硅基光電集成技術(shù)，一體化的光學(xué)封裝技術(shù)，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體激光器和探測(cè)器集成統(tǒng)一光學(xué)傳感模組。非凡的抗干擾性和穩(wěn)定性不受材質(zhì)顏色、環(huán)境光等干擾同軸測(cè)量無(wú)死角輕量、便攜無(wú)需控制器、放大器等，只一個(gè)傳感器即可測(cè)量。數(shù)字化可與多個(gè)開放式現(xiàn)場(chǎng)網(wǎng)絡(luò)兼容。檢測(cè)不受限通過(guò)物體的表面反射或遮光量進(jìn)行檢測(cè)，可檢測(cè)大多數(shù)物體（玻璃、金屬、塑料、木料及液體等）。長(zhǎng)距離高功率傳感器，輕松進(jìn)行長(zhǎng)距離檢測(cè)。非接觸采用激光非接觸測(cè)量方法，對(duì)被測(cè)設(shè)備無(wú)任何影響且不會(huì)產(chǎn)生接觸劃痕。壽命較長(zhǎng)，無(wú)需進(jìn)行維護(hù)。同軸回光支持狹小空間間隙檢測(cè)。高精度小光斑可精確檢測(cè)小微型物體。穩(wěn)定檢測(cè) 根據(jù)工件設(shè)置最優(yōu)的激光發(fā)射功率以及增益。

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光譜共焦位移傳感器/同軸光位移傳感器LT-C系列可替代基恩士CL-3000系列

發(fā)布時(shí)間: 2021 - 08 - 12

泓川科技LTC全系列光譜共焦傳感器，量程橫跨±0.05mm至±25mm，0.02%FS線性精度+30kHz超高速采樣，支持Φ1.7μmΦ400μm三級(jí)光斑配置。深孔內(nèi)壁（LTCR側(cè)向出光）、透明多層測(cè)厚（LTC7000S）、超高溫場(chǎng)景（200°C定制）全覆蓋，適配21kHz高速控制器（LT-CCH）及16通道同步系統(tǒng)。專為半導(dǎo)體晶圓、新能源極片、航空航天精密件、醫(yī)療植入物等高端制造領(lǐng)域提供國(guó)產(chǎn)高性價(jià)比替代方案，重新定義工業(yè)檢測(cè)新標(biāo)準(zhǔn)！

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高速高精度激光位移傳感器LTP系列可替代keyence基恩士LK-G系列

發(fā)布時(shí)間: 2021 - 04 - 20

高韌性線纜，配備至機(jī)器人時(shí)也可放心使用。完全符合 IP67 標(biāo)準(zhǔn)的連接器，在潮濕或粉塵較多的現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境中也可放心使用，傳感頭也完全符合 IP67 標(biāo)準(zhǔn)。光量自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，有效提高光亮調(diào)整的靈敏度，自動(dòng)根據(jù)不同被測(cè)物的反光度調(diào)節(jié)激光亮度范圍。定制物鏡可將不規(guī)則的光束消除，同時(shí)將畸變的影響降至最低，大幅提高測(cè)量系統(tǒng)的線性精度。

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專業(yè)從事激光位移傳感器，激光焊縫跟蹤系統(tǒng)研發(fā)及銷售的科技公司

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光譜共焦傳感器在激光隱切技術(shù)（激光隱形切割）晶圓切割中發(fā)揮了哪些作用？

2023 - 09 - 25

由于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性和精密性，對(duì)晶圓切割的技術(shù)要求極高，傳統(tǒng)的機(jī)械切割方式已經(jīng)無(wú)法滿足現(xiàn)代電子行業(yè)的需求。在這種情況下，光譜共焦位移傳感器配合激光隱切技術(shù)（激光隱形切割）在晶圓切割中發(fā)揮了重要作用。以下將詳細(xì)介紹這種新型高效切割技術(shù)的應(yīng)用案例及其優(yōu)勢(shì)。原理：利用小功率的激光被光譜共焦位移傳感器設(shè)定的預(yù)定路徑所導(dǎo)，聚焦在直徑只有100多納米的光斑上，形成巨大的局部能量，然后根據(jù)這個(gè)能量將晶圓切割開。光譜共焦位移傳感器在切割過(guò)程中實(shí)時(shí)檢測(cè)切口深度和位置，確保切口的深廣和位置的精確性。激光隱切與光譜共焦位移傳感器結(jié)合的應(yīng)用案例：以某種先進(jìn)的半導(dǎo)體制程為例，晶圓經(jīng)過(guò)深刻蝕、清洗、擴(kuò)散等步驟后，需要進(jìn)行精確切割。在這個(gè)過(guò)程中，首先，工程師根據(jù)需要的切割圖案在軟件上設(shè)定好切割路徑，然后切割機(jī)通過(guò)光譜共焦位移傳感器引導(dǎo)激光按照預(yù)定的路徑且此過(guò)程工程師可以實(shí)時(shí)觀察和測(cè)量切口深度和位置。優(yōu)點(diǎn)：這種技術(shù)最大的優(yōu)勢(shì)就是它能夠?qū)崿F(xiàn)超微細(xì)切割，避免了大功率激光對(duì)芯片可能會(huì)帶來(lái)的影響。另外，因?yàn)榍懈畹纳疃群臀恢每梢詫?shí)時(shí)調(diào)控，這法也非常具有靈活性。同時(shí)，由于使用光譜共焦位移傳感器精確控制切割的深度和位置，所以切割出來(lái)的晶圓表面平整，質(zhì)量更好。總的來(lái)看，光譜共焦位移傳感器配合激光隱切在晶圓切割中的應(yīng)用，不僅提升了生產(chǎn)效率，減少了廢品率，而且大幅度提升了產(chǎn)品質(zhì)量，對(duì)于當(dāng)前和未來(lái)的半導(dǎo)體行業(yè)都將是一個(gè)革新的技...
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非接觸式激光傳感器在生產(chǎn)線上的應(yīng)用有哪些優(yōu)勢(shì)？

2024 - 03 - 05

非接觸式激光位移傳感器在生產(chǎn)線上的應(yīng)用具有多方面的優(yōu)勢(shì)，下面將從精度、速度、可靠性、靈活性和安全性等方面進(jìn)行逐一分析，并通過(guò)具體的應(yīng)用場(chǎng)景來(lái)說(shuō)明其應(yīng)用價(jià)值。同時(shí)，還會(huì)與傳統(tǒng)的接觸式傳感器進(jìn)行比較，以突顯非接觸式激光位移傳感器的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。精度：非接觸式激光位移傳感器采用激光三角測(cè)量法，具有極高的測(cè)量精度。例如，在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，需要精確控制薄膜的厚度，非接觸式激光位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的測(cè)量精度，從而確保產(chǎn)品質(zhì)量。相比之下，傳統(tǒng)接觸式傳感器可能會(huì)因?yàn)榻佑|力度的不同而影響測(cè)量精度。速度：非接觸式激光位移傳感器具有快速響應(yīng)的特點(diǎn)，可以在生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)高速測(cè)量。例如，在包裝機(jī)械中，需要實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)包裝材料的位置和速度，非接觸式激光位移傳感器可以迅速捕捉到這些變化，從而確保包裝過(guò)程的順利進(jìn)行。而傳統(tǒng)接觸式傳感器可能會(huì)因?yàn)榻佑|摩擦等因素而影響測(cè)量速度。可靠性：非接觸式激光位移傳感器無(wú)需與目標(biāo)物體直接接觸，因此可以避免因摩擦、磨損等因素導(dǎo)致的傳感器損壞。此外，非接觸式傳感器還具有較好的抗干擾能力，可以在惡劣的生產(chǎn)環(huán)境中穩(wěn)定工作。相比之下，傳統(tǒng)接觸式傳感器更容易受到環(huán)境因素的影響而出現(xiàn)故障。靈活性：非接觸式激光位移傳感器可以適應(yīng)不同的測(cè)量需求，通過(guò)調(diào)整激光發(fā)射角度、接收透鏡焦距等參數(shù)，可以實(shí)現(xiàn)不同距離、不同角度的測(cè)量。此外，非接觸式傳感器還可以與計(jì)算機(jī)、PLC等設(shè)備進(jìn)行連接，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制和數(shù)據(jù)處理...
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泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 國(guó)產(chǎn)激光位移傳感器替代進(jìn)口基恩士 IL-S025 的技術(shù)可行性研究

2025 - 03 - 27

1. 引言在工業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域，激光位移傳感器是實(shí)現(xiàn)高精度非接觸測(cè)量的核心器件。基恩士 IL-S025 作為市場(chǎng)主流產(chǎn)品，以其 1μm 重復(fù)精度和穩(wěn)定性能著稱。然而，隨著國(guó)產(chǎn)傳感器技術(shù)的突破，泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 型號(hào)憑借更高的性能參數(shù)和經(jīng)濟(jì)性，為用戶提供了新的選擇。本文將從技術(shù)參數(shù)、性能表現(xiàn)、應(yīng)用場(chǎng)景等方面，深入對(duì)比分析兩者的替代可行性。 2. 核心技術(shù)參數(shù)對(duì)比參數(shù)基恩士 IL-S025泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W對(duì)比結(jié)論重復(fù)精度1μm0.25μm（LTM3-030）/ 0.25μm（LTM3-030W）LTM3 系列更優(yōu)（4 倍精度提升）線性誤差±0.075% F.S.（±5mm 范圍）LTM3-030W 更優(yōu)（接近 IL-S025）測(cè)量范圍±5mm（參考距離 25mm）±5mm（參考距離 30mm）等效采樣頻率3kHz（采樣周期 0.33ms）10kHzLTM3 系列更優(yōu)（3倍速度提升）光斑尺寸25×1200μm（線性光斑）Φ35μm（M3-030）/ Φ35×400μm（M3-030W）LTM3 系列光斑更小（點(diǎn)光斑更聚焦）光源類型660nm 激光（Class 2）655nm 激光（Class 2）等效接口配置需外接放大器單元（支持 EtherNet/IP 等）...
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激光測(cè)量技術(shù)在（ADAS）駕駛輔助系統(tǒng)的應(yīng)用案例（一）

2025 - 01 - 16

一、引言1.1 研究背景與目的在汽車行業(yè)邁向智能化與自動(dòng)化的進(jìn)程中，先進(jìn)駕駛輔助系統(tǒng)（ADAS）作為關(guān)鍵技術(shù)，正發(fā)揮著愈發(fā)重要的作用。ADAS 憑借多種傳感器與智能算法，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)車輛周邊環(huán)境，為駕駛員提供預(yù)警與輔助控制，極大地提升了駕駛的安全性與舒適性。本報(bào)告旨在深入剖析《ADAS 相關(guān)工具核心功能 & 技術(shù)》中所涉及的 ADAS 相關(guān)工具應(yīng)用案例，通過(guò)詳細(xì)描述各案例的具體應(yīng)用場(chǎng)景、工作原理及達(dá)成的效果，深度挖掘這些工具在汽車制造及 ADAS 系統(tǒng)開發(fā)過(guò)程中的重要價(jià)值，為行業(yè)內(nèi)相關(guān)人員提供具有實(shí)際參考意義的信息，助力推動(dòng) ADAS 技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展與廣泛應(yīng)用。 1.2 研究方法與數(shù)據(jù)來(lái)源本報(bào)告通過(guò)對(duì)《ADAS 相關(guān)工具核心功能 & 技術(shù)》進(jìn)行全面細(xì)致的整理與深入分析，從中系統(tǒng)地提取出各類 ADAS 相關(guān)工具的應(yīng)用案例。在分析過(guò)程中，對(duì)每個(gè)案例的技術(shù)原理、應(yīng)用場(chǎng)景以及所實(shí)現(xiàn)的功能進(jìn)行了詳細(xì)闡述，并結(jié)合實(shí)際情況進(jìn)行了深入探討。本文所引用的 ADAS 相關(guān)工具的應(yīng)用案例及技術(shù)原理均來(lái)自《ADAS 相關(guān)工具核心功能 & 技術(shù)》文檔，該文檔為此次研究提供了豐富且詳實(shí)的一手資料，確保了研究的準(zhǔn)確性與可靠性。二、車載相機(jī)應(yīng)用案例剖析2.1 底部填充膠涂抹高度測(cè)量2.1.1 案例描述在汽車電子制造中，車載相機(jī)的底部填充膠涂抹高度對(duì)于確保相機(jī)的...
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一場(chǎng)穿越空間的光電舞蹈: TOF激光測(cè)距傳感器解碼記

2023 - 09 - 20

首先，讓我們對(duì)TOF進(jìn)行一次短暫的“速讀”——它全稱叫'time-of-flight'，中文怎么說(shuō)呢？風(fēng)格灑脫地稱之為“飛行時(shí)間”。你沒(méi)聽錯(cuò)，就是“飛行時(shí)間”。所有的顛覆與創(chuàng)新始于赤裸裸的想象，對(duì)吧？再來(lái)回過(guò)頭，看看我們的主角TOF激光測(cè)距傳感器。激光這東西，我想你肯定不陌生。科幻大片，醫(yī)美廣告里都被頻繁提及。對(duì)這位明星，我們暫時(shí)按下暫停鍵，我們聊一聊測(cè)距傳感器——那可是能把復(fù)雜的三維世界，硬是證明成一串串精準(zhǔn)數(shù)據(jù)的硬核工具。當(dāng)然，他倆的組合，并不是偶然撞壁造成的火花。在“鷹眼”TOF的身上，激光變得更加酷炫，傳感器技術(shù)也變得更為深邃。他們共舞的主線，就是光的飛行時(shí)間。想象一下，要在現(xiàn)實(shí)世界計(jì)算出光從物體發(fā)射出來(lái)，然后反射回傳感器的時(shí)間。你愣了一秒，覺得好像進(jìn)入了'黑洞'的領(lǐng)域。實(shí)則不然，TOF激光測(cè)距傳感器就是這樣“耳提面命”。它以光速旅行者的姿態(tài)，穿越空間，告訴我們物體與之間的距離。親，你有聽說(shuō)過(guò)光速嗎？大約每秒走30萬(wàn)公里哦，這個(gè)速度足夠你在一秒鐘內(nèi)去繞地球七點(diǎn)五圈了！TOF激光測(cè)距傳感器就是他們利用這么一個(gè)迅疾的光速，再加上高精度的時(shí)鐘，來(lái)高效精確地計(jì)算出飛行時(shí)間并轉(zhuǎn)化為距離數(shù)據(jù)。小編想說(shuō)，TOF不僅玩科技，他更玩智謀，戰(zhàn)勝了同類的超聲波、紅外線等測(cè)距設(shè)備。畢竟，被物的顏色、亮度、表面材質(zhì)，或者環(huán)境的溫濕度對(duì)他來(lái)說(shuō)都不構(gòu)成鎖鏈。準(zhǔn)確到“下毛...
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案例應(yīng)用 | 基于光譜共焦技術(shù)的DPC陶瓷基板金屬層測(cè)厚方案

2025 - 03 - 06

背景與挑戰(zhàn)隨著電子封裝技術(shù)的快速發(fā)展，直接鍍銅陶瓷基板（DPC）因具備優(yōu)異的導(dǎo)熱性、機(jī)械強(qiáng)度及耐高溫性能，被廣泛應(yīng)用于大功率LED、IGBT模塊等領(lǐng)域。然而，其表面金屬鍍層的厚度均勻性直接影響器件的散熱效率與可靠性。某客戶需對(duì)一批DPC基板進(jìn)行全檢，要求**在正反面各選取10個(gè)金屬塊（含2個(gè)重復(fù)基準(zhǔn)點(diǎn)）**進(jìn)行高精度厚度測(cè)量，并同步獲取表面輪廓與中心區(qū)高度數(shù)據(jù)，以滿足嚴(yán)格的工藝質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn)。解決方案針對(duì)客戶需求，我們采用LTC1200系列光譜共焦傳感器（配套高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)與測(cè)控軟件），設(shè)計(jì)了一套非接觸式三維測(cè)厚方案：設(shè)備選型量程：±600μm（覆蓋金屬層典型厚度范圍）重復(fù)精度：0.03μm（靜態(tài)，確保基準(zhǔn)點(diǎn)數(shù)據(jù)一致性）線性誤差：＜±0.3μm（滿足亞微米級(jí)公差要求）采樣頻率：10kHz（高速掃描提升檢測(cè)效率）選用LTC1200B型號(hào)傳感器（光斑直徑約19μm），兼顧測(cè)量精度與金屬表面反射特性需求，其技術(shù)參數(shù)如下：搭配亞微米級(jí)定位平臺(tái)，確保掃描路徑精確控制。基準(zhǔn)點(diǎn)設(shè)定以陶瓷基板裸露區(qū)域作為基準(zhǔn)面，在正反面各設(shè)置2個(gè)重復(fù)測(cè)量點(diǎn)，通過(guò)傳感器實(shí)時(shí)比對(duì)基準(zhǔn)高度數(shù)據(jù)，消除基板翹曲或裝夾誤差對(duì)厚度計(jì)算的影響。實(shí)施流程數(shù)據(jù)采集：沿預(yù)設(shè)路徑掃描金屬塊，同步記錄輪廓點(diǎn)云與中心區(qū)高度（軟件自動(dòng)擬合最高點(diǎn)作為厚度參考值）。厚度計(jì)算：基于公式：\text{金屬層厚度} = \text{金...
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如何利用光譜共焦傳感器來(lái)檢測(cè)薄膜生產(chǎn)中的薄厚偏差？

2023 - 09 - 25

在高精度的生產(chǎn)工序中，薄膜偏差是一項(xiàng)極為重要的控制指標(biāo)。由于微觀材料結(jié)構(gòu)的敏感性，稍有偏差就可能會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品的細(xì)微變形，從而引發(fā)性能下降、使用壽命縮短等一系列問(wèn)題。因此，對(duì)薄膜偏差的精確檢測(cè)與實(shí)時(shí)調(diào)控具有至關(guān)重要的意義。對(duì)于這樣的需求，光譜共焦位移傳感器便能發(fā)揮出它重要的作用。通過(guò)實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜厚度的非接觸式實(shí)時(shí)監(jiān)視，它可以有效地預(yù)防或及時(shí)地調(diào)整可能發(fā)生的偏差，提高生產(chǎn)過(guò)程中的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性。原理上，光譜共焦位移傳感器利用光源通過(guò)物體后的干涉進(jìn)行測(cè)量，借助高精度的光學(xué)系統(tǒng)和高靈敏的光電檢測(cè)設(shè)備，最終得出偏差情況。另一方面，光譜共焦位移傳感器具有小型化的優(yōu)勢(shì)。它采用集成設(shè)計(jì)，尺寸小巧，可以安裝在設(shè)備內(nèi)的有限空間中，且不會(huì)影響主機(jī)性能。這大大擴(kuò)展了其使用場(chǎng)景，讓即使是較為狹小的環(huán)境也能實(shí)現(xiàn)精確的監(jiān)控。總結(jié)來(lái)說(shuō)，光譜共焦位移傳感器代表著未來(lái)高精密度生產(chǎn)領(lǐng)域的主流趨。其不僅具備高精度、快反應(yīng)、難以受到環(huán)境干擾等優(yōu)點(diǎn)，還由于其小型化、適用于狹窄環(huán)境等特性，使其逐漸被更多的高科技領(lǐng)域所接受和采納。
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激光三角測(cè)量法是如何實(shí)現(xiàn)對(duì)透明物體測(cè)量的？折射率校正在這個(gè)過(guò)程中起到了什么作用？

2024 - 03 - 05

激光三角測(cè)量法：精確測(cè)量透明物體的科技新突破在精密測(cè)量領(lǐng)域，激光三角測(cè)量法已成為一種非常重要的技術(shù)手段。這種測(cè)量方法尤其適用于透明物體的測(cè)量，因?yàn)樗梢杂行У亟鉀Q透明物體測(cè)量中的諸多難題。本文將詳細(xì)介紹激光三角測(cè)量法的原理、步驟，以及折射率校正在此過(guò)程中所起到的關(guān)鍵作用。一、激光三角測(cè)量法的原理激光三角測(cè)量法是一種基于光學(xué)三角測(cè)量原理的非接觸式測(cè)量方法。其基本原理是：半導(dǎo)體激光器發(fā)出的激光束照射在目標(biāo)物體上，接收器透鏡聚集目標(biāo)物體反射的光線并聚焦到感光元件上。當(dāng)目標(biāo)物體與測(cè)量設(shè)備之間的距離發(fā)生改變時(shí)，通過(guò)接收器透鏡的反射光的位置也會(huì)相應(yīng)改變，光線聚焦在感光元件上的部分也會(huì)有所不同。通過(guò)精確測(cè)量這些變化，就可以得出目標(biāo)物體的位移、形狀等參數(shù)。二、激光三角測(cè)量法的步驟設(shè)定參照距離：首先，需要設(shè)定一個(gè)參照距離，即在此距離下，激光束與感光元件之間的位置關(guān)系已知且穩(wěn)定。照射激光：然后，通過(guò)半導(dǎo)體激光器發(fā)出激光束，照射在待測(cè)的透明物體上。接收反射光：接收器透鏡會(huì)聚集從透明物體反射回來(lái)的光線，并將其聚焦到感光元件上。分析數(shù)據(jù)：當(dāng)透明物體移動(dòng)或形狀發(fā)生變化時(shí)，反射光在感光元件上的位置也會(huì)發(fā)生變化。通過(guò)精確分析這些變化，就可以得出透明物體的位移、形狀等參數(shù)。三、折射率校正的作用在測(cè)量透明物體時(shí)，一個(gè)關(guān)鍵的問(wèn)題是需要考慮光的折射現(xiàn)象。由于透明物體的折射率與空氣不同，光線在從空氣進(jìn)入透明物體時(shí)會(huì)發(fā)生折射...

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藍(lán)光光源激光位移傳感器：優(yōu)勢(shì)、原理與特殊場(chǎng)景解決方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工業(yè)精密測(cè)量中，傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場(chǎng)景限制，而藍(lán)光光源（405nm 波長(zhǎng)）憑借獨(dú)特物理特性實(shí)現(xiàn)突破。以下通過(guò) “一問(wèn)一答” 形式，詳解藍(lán)光傳感器的優(yōu)勢(shì)、原理構(gòu)造，并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案，看其如何解決特殊環(huán)境測(cè)量難題。1. 藍(lán)光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光，核心優(yōu)勢(shì)是什么？藍(lán)光傳感器的核心優(yōu)勢(shì)源于 405nm 波長(zhǎng)的物理特性，相比傳統(tǒng) 655nm 左右的紅光，主要體現(xiàn)在三方面：更高橫向分辨率：根據(jù)瑞利判據(jù)，光學(xué)分辨率與波長(zhǎng)成反比。藍(lán)光波長(zhǎng)僅為紅光的 62%（405nm/655nm≈0.62），相同光學(xué)系統(tǒng)下橫向分辨率可提升約 38%，能形成更小光斑（如泓川 LTP025 藍(lán)光版光斑最小達(dá) Φ18μm），適配芯片針腳、晶圓等微米級(jí)結(jié)構(gòu)測(cè)量。更強(qiáng)信號(hào)穩(wěn)定性：藍(lán)光單光子能量達(dá) 3.06eV，遠(yuǎn)高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料（如橡膠、有機(jī)涂層）表面，能激發(fā)出更強(qiáng)散射信號(hào)；同時(shí)穿透性更低，僅在材料表層作用，避免內(nèi)部折射干擾，適合表面精準(zhǔn)測(cè)量。更優(yōu)抗干擾能力：藍(lán)光波段與紅熱輻射（500nm 以上）、戶外強(qiáng)光（可見光為主）重疊度低，搭配專用濾光片后，可有效隔絕高溫物體自發(fā)光、陽(yáng)光直射等干擾，這是紅光難以實(shí)現(xiàn)的。2. 藍(lán)光激光位移傳感器的原理構(gòu)造是怎樣的？為何能實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量？藍(lán)光傳感器的高精度的核心是 “光學(xué)設(shè)計(jì) + 信號(hào)處理 + ...

泓川科技國(guó)產(chǎn)系列光譜共焦/激光位移傳感器/白光干涉測(cè)厚產(chǎn)品性能一覽 2025 - 09 - 05 高精度測(cè)量傳感器全系列：賦能精密制造，適配多元檢測(cè)需求聚焦半導(dǎo)體、光學(xué)膜、機(jī)械加工等領(lǐng)域的精密檢測(cè)核心痛點(diǎn)，我們推出全系列高性能測(cè)量傳感器，覆蓋 “測(cè)厚、對(duì)焦、位移” 三大核心應(yīng)用場(chǎng)景，以 “高精準(zhǔn)、高速度、高適配” 為設(shè)計(jì)核心，為您的工藝控制與質(zhì)量檢測(cè)提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細(xì)介紹：1.LTS-IR 紅外干涉測(cè)厚傳感器：半導(dǎo)體材料測(cè)厚專屬核心用途：專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料設(shè)計(jì)，精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)晶圓等器件的厚度測(cè)量。性能優(yōu)點(diǎn)：精度卓越：±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復(fù)精度，確保測(cè)量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠；量程適配：覆蓋 10μm2mm 測(cè)厚范圍，滿足多數(shù)半導(dǎo)體材料檢測(cè)需求；高效高速：40kHz 采樣速度，快速捕捉厚度數(shù)據(jù)，適配在線檢測(cè)節(jié)奏；靈活適配：寬范圍工作距離設(shè)計(jì)，可靈活匹配不同規(guī)格的檢測(cè)設(shè)備與場(chǎng)景。2. 分體式對(duì)焦傳感器：半導(dǎo)體 / 面板缺陷檢測(cè)的 “高速對(duì)焦助手”核心用途：針對(duì)半導(dǎo)體、面板領(lǐng)域的高精度缺陷檢測(cè)場(chǎng)景，提供高速實(shí)時(shí)對(duì)焦支持，尤其適配顯微對(duì)焦類檢測(cè)設(shè)備。性能優(yōu)點(diǎn)：對(duì)焦速度快：50kHz 高速對(duì)焦，同步匹配缺陷檢測(cè)的實(shí)時(shí)性需求；對(duì)焦精度高：0.5μm 對(duì)焦精度，保障缺陷成像清晰、檢測(cè)無(wú)偏差；設(shè)計(jì)靈活：分體式結(jié)構(gòu)，可根據(jù)檢測(cè)設(shè)備的安裝空間與布局靈活調(diào)整，降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀：極薄膜厚檢測(cè)的 “精密管家”核心用途：專注于極薄膜...

多方面研究泓川科技LTP系列大量程全國(guó)產(chǎn)激光位移傳感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品技術(shù)報(bào)告尊敬的客戶：感謝您對(duì)泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品的關(guān)注與信任。為幫助您全面了解我司產(chǎn)品，現(xiàn)將激光位移傳感器相關(guān)技術(shù)信息從參數(shù)指標(biāo)、設(shè)計(jì)原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等八大核心維度進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，為您的選型、使用及維護(hù)提供專業(yè)參考。一、參數(shù)指標(biāo)我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列，各型號(hào)核心參數(shù)經(jīng)納米級(jí)高精度激光干涉儀標(biāo)定驗(yàn)證，確保數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠，具體參數(shù)如下表所示：表 1：LTP400EA參數(shù)表參數(shù)類別具體參數(shù)LTP400EA備注基礎(chǔ)測(cè)量參數(shù)測(cè)量中心距離400mm以量程中心位置計(jì)算（*1）量程200mm-重復(fù)精度（靜態(tài)）3μm測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)白色陶瓷樣件，50kHz 無(wú)平均，取 65536 組數(shù)據(jù)均方根偏差（*2）線性度±0.03%F.S.（F.S.=200mm）采用納米級(jí)激光干涉儀標(biāo)定（*3）光源與光斑光源類型-激光功率可定制，部分型號(hào)提供 405nm 藍(lán)光版本（*4）光束直徑聚焦點(diǎn)光斑 Φ300μm中心位置直徑，兩端相對(duì)變大（*5）電氣參數(shù)電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護(hù)反向連接保護(hù)、過(guò)電流保護(hù)-輸出與通信模擬量輸出（選配）電壓：0-5V/010V/-1010V；電流：420mA探頭可獨(dú)立提供電壓、電流與 RS485 輸出（*6）通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網(wǎng)口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊（*7）響應(yīng)...

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