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專業(yè)從事激光位移傳感器，激光焊縫跟蹤系統(tǒng)研發(fā)及銷售的科技公司

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光譜共焦傳感器在激光隱切技術(shù)（激光隱形切割）晶圓切割中發(fā)揮了哪些作用？

2023 - 09 - 25

由于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性和精密性，對晶圓切割的技術(shù)要求極高，傳統(tǒng)的機(jī)械切割方式已經(jīng)無法滿足現(xiàn)代電子行業(yè)的需求。在這種情況下，光譜共焦位移傳感器配合激光隱切技術(shù)（激光隱形切割）在晶圓切割中發(fā)揮了重要作用。以下將詳細(xì)介紹這種新型高效切割技術(shù)的應(yīng)用案例及其優(yōu)勢。原理：利用小功率的激光被光譜共焦位移傳感器設(shè)定的預(yù)定路徑所導(dǎo)，聚焦在直徑只有100多納米的光斑上，形成巨大的局部能量，然后根據(jù)這個能量將晶圓切割開。光譜共焦位移傳感器在切割過程中實(shí)時檢測切口深度和位置，確保切口的深廣和位置的精確性。激光隱切與光譜共焦位移傳感器結(jié)合的應(yīng)用案例：以某種先進(jìn)的半導(dǎo)體制程為例，晶圓經(jīng)過深刻蝕、清洗、擴(kuò)散等步驟后，需要進(jìn)行精確切割。在這個過程中，首先，工程師根據(jù)需要的切割圖案在軟件上設(shè)定好切割路徑，然后切割機(jī)通過光譜共焦位移傳感器引導(dǎo)激光按照預(yù)定的路徑且此過程工程師可以實(shí)時觀察和測量切口深度和位置。優(yōu)點(diǎn)：這種技術(shù)最大的優(yōu)勢就是它能夠?qū)崿F(xiàn)超微細(xì)切割，避免了大功率激光對芯片可能會帶來的影響。另外，因?yàn)榍懈畹纳疃群臀恢每梢詫?shí)時調(diào)控，這法也非常具有靈活性。同時，由于使用光譜共焦位移傳感器精確控制切割的深度和位置，所以切割出來的晶圓表面平整，質(zhì)量更好?？偟膩砜?，光譜共焦位移傳感器配合激光隱切在晶圓切割中的應(yīng)用，不僅提升了生產(chǎn)效率，減少了廢品率，而且大幅度提升了產(chǎn)品質(zhì)量，對于當(dāng)前和未來的半導(dǎo)體行業(yè)都將是一個革新的技...
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非接觸式激光傳感器在生產(chǎn)線上的應(yīng)用有哪些優(yōu)勢？

2024 - 03 - 05

非接觸式激光位移傳感器在生產(chǎn)線上的應(yīng)用具有多方面的優(yōu)勢，下面將從精度、速度、可靠性、靈活性和安全性等方面進(jìn)行逐一分析，并通過具體的應(yīng)用場景來說明其應(yīng)用價值。同時，還會與傳統(tǒng)的接觸式傳感器進(jìn)行比較，以突顯非接觸式激光位移傳感器的獨(dú)特優(yōu)勢。精度：非接觸式激光位移傳感器采用激光三角測量法，具有極高的測量精度。例如，在半導(dǎo)體制造過程中，需要精確控制薄膜的厚度，非接觸式激光位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)微米級的測量精度，從而確保產(chǎn)品質(zhì)量。相比之下，傳統(tǒng)接觸式傳感器可能會因?yàn)榻佑|力度的不同而影響測量精度。速度：非接觸式激光位移傳感器具有快速響應(yīng)的特點(diǎn)，可以在生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)高速測量。例如，在包裝機(jī)械中，需要實(shí)時監(jiān)測包裝材料的位置和速度，非接觸式激光位移傳感器可以迅速捕捉到這些變化，從而確保包裝過程的順利進(jìn)行。而傳統(tǒng)接觸式傳感器可能會因?yàn)榻佑|摩擦等因素而影響測量速度。可靠性：非接觸式激光位移傳感器無需與目標(biāo)物體直接接觸，因此可以避免因摩擦、磨損等因素導(dǎo)致的傳感器損壞。此外，非接觸式傳感器還具有較好的抗干擾能力，可以在惡劣的生產(chǎn)環(huán)境中穩(wěn)定工作。相比之下，傳統(tǒng)接觸式傳感器更容易受到環(huán)境因素的影響而出現(xiàn)故障。靈活性：非接觸式激光位移傳感器可以適應(yīng)不同的測量需求，通過調(diào)整激光發(fā)射角度、接收透鏡焦距等參數(shù)，可以實(shí)現(xiàn)不同距離、不同角度的測量。此外，非接觸式傳感器還可以與計算機(jī)、PLC等設(shè)備進(jìn)行連接，實(shí)現(xiàn)自動化控制和數(shù)據(jù)處理...
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泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 國產(chǎn)激光位移傳感器替代進(jìn)口基恩士 IL-S025 的技術(shù)可行性研究

2025 - 03 - 27

1. 引言在工業(yè)自動化領(lǐng)域，激光位移傳感器是實(shí)現(xiàn)高精度非接觸測量的核心器件?；魇?IL-S025 作為市場主流產(chǎn)品，以其 1μm 重復(fù)精度和穩(wěn)定性能著稱。然而，隨著國產(chǎn)傳感器技術(shù)的突破，泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 型號憑借更高的性能參數(shù)和經(jīng)濟(jì)性，為用戶提供了新的選擇。本文將從技術(shù)參數(shù)、性能表現(xiàn)、應(yīng)用場景等方面，深入對比分析兩者的替代可行性。 2. 核心技術(shù)參數(shù)對比參數(shù)基恩士 IL-S025泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W對比結(jié)論重復(fù)精度1μm0.25μm（LTM3-030）/ 0.25μm（LTM3-030W）LTM3 系列更優(yōu)（4 倍精度提升）線性誤差±0.075% F.S.（±5mm 范圍）LTM3-030W 更優(yōu)（接近 IL-S025）測量范圍±5mm（參考距離 25mm）±5mm（參考距離 30mm）等效采樣頻率3kHz（采樣周期 0.33ms）10kHzLTM3 系列更優(yōu)（3倍速度提升）光斑尺寸25×1200μm（線性光斑）Φ35μm（M3-030）/ Φ35×400μm（M3-030W）LTM3 系列光斑更?。c(diǎn)光斑更聚焦）光源類型660nm 激光（Class 2）655nm 激光（Class 2）等效接口配置需外接放大器單元（支持 EtherNet/IP 等）...
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激光測量技術(shù)在（ADAS）駕駛輔助系統(tǒng)的應(yīng)用案例（一）

2025 - 01 - 16

一、引言1.1 研究背景與目的在汽車行業(yè)邁向智能化與自動化的進(jìn)程中，先進(jìn)駕駛輔助系統(tǒng)（ADAS）作為關(guān)鍵技術(shù)，正發(fā)揮著愈發(fā)重要的作用。ADAS 憑借多種傳感器與智能算法，能夠?qū)崟r監(jiān)測車輛周邊環(huán)境，為駕駛員提供預(yù)警與輔助控制，極大地提升了駕駛的安全性與舒適性。本報告旨在深入剖析《ADAS 相關(guān)工具核心功能 & 技術(shù)》中所涉及的 ADAS 相關(guān)工具應(yīng)用案例，通過詳細(xì)描述各案例的具體應(yīng)用場景、工作原理及達(dá)成的效果，深度挖掘這些工具在汽車制造及 ADAS 系統(tǒng)開發(fā)過程中的重要價值，為行業(yè)內(nèi)相關(guān)人員提供具有實(shí)際參考意義的信息，助力推動 ADAS 技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展與廣泛應(yīng)用。 1.2 研究方法與數(shù)據(jù)來源本報告通過對《ADAS 相關(guān)工具核心功能 & 技術(shù)》進(jìn)行全面細(xì)致的整理與深入分析，從中系統(tǒng)地提取出各類 ADAS 相關(guān)工具的應(yīng)用案例。在分析過程中，對每個案例的技術(shù)原理、應(yīng)用場景以及所實(shí)現(xiàn)的功能進(jìn)行了詳細(xì)闡述，并結(jié)合實(shí)際情況進(jìn)行了深入探討。本文所引用的 ADAS 相關(guān)工具的應(yīng)用案例及技術(shù)原理均來自《ADAS 相關(guān)工具核心功能 & 技術(shù)》文檔，該文檔為此次研究提供了豐富且詳實(shí)的一手資料，確保了研究的準(zhǔn)確性與可靠性。二、車載相機(jī)應(yīng)用案例剖析2.1 底部填充膠涂抹高度測量2.1.1 案例描述在汽車電子制造中，車載相機(jī)的底部填充膠涂抹高度對于確保相機(jī)的...
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一場穿越空間的光電舞蹈: TOF激光測距傳感器解碼記

2023 - 09 - 20

首先，讓我們對TOF進(jìn)行一次短暫的“速讀”——它全稱叫'time-of-flight'，中文怎么說呢？風(fēng)格灑脫地稱之為“飛行時間”。你沒聽錯，就是“飛行時間”。所有的顛覆與創(chuàng)新始于赤裸裸的想象，對吧？再來回過頭，看看我們的主角TOF激光測距傳感器。激光這東西，我想你肯定不陌生?？苹么笃?，醫(yī)美廣告里都被頻繁提及。對這位明星，我們暫時按下暫停鍵，我們聊一聊測距傳感器——那可是能把復(fù)雜的三維世界，硬是證明成一串串精準(zhǔn)數(shù)據(jù)的硬核工具。當(dāng)然，他倆的組合，并不是偶然撞壁造成的火花。在“鷹眼”TOF的身上，激光變得更加酷炫，傳感器技術(shù)也變得更為深邃。他們共舞的主線，就是光的飛行時間。想象一下，要在現(xiàn)實(shí)世界計算出光從物體發(fā)射出來，然后反射回傳感器的時間。你愣了一秒，覺得好像進(jìn)入了'黑洞'的領(lǐng)域。實(shí)則不然，TOF激光測距傳感器就是這樣“耳提面命”。它以光速旅行者的姿態(tài)，穿越空間，告訴我們物體與之間的距離。親，你有聽說過光速嗎？大約每秒走30萬公里哦，這個速度足夠你在一秒鐘內(nèi)去繞地球七點(diǎn)五圈了！TOF激光測距傳感器就是他們利用這么一個迅疾的光速，再加上高精度的時鐘，來高效精確地計算出飛行時間并轉(zhuǎn)化為距離數(shù)據(jù)。小編想說，TOF不僅玩科技，他更玩智謀，戰(zhàn)勝了同類的超聲波、紅外線等測距設(shè)備。畢竟，被物的顏色、亮度、表面材質(zhì)，或者環(huán)境的溫濕度對他來說都不構(gòu)成鎖鏈。準(zhǔn)確到“下毛...
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案例應(yīng)用 | 基于光譜共焦技術(shù)的DPC陶瓷基板金屬層測厚方案

2025 - 03 - 06

背景與挑戰(zhàn)隨著電子封裝技術(shù)的快速發(fā)展，直接鍍銅陶瓷基板（DPC）因具備優(yōu)異的導(dǎo)熱性、機(jī)械強(qiáng)度及耐高溫性能，被廣泛應(yīng)用于大功率LED、IGBT模塊等領(lǐng)域。然而，其表面金屬鍍層的厚度均勻性直接影響器件的散熱效率與可靠性。某客戶需對一批DPC基板進(jìn)行全檢，要求**在正反面各選取10個金屬塊（含2個重復(fù)基準(zhǔn)點(diǎn)）**進(jìn)行高精度厚度測量，并同步獲取表面輪廓與中心區(qū)高度數(shù)據(jù)，以滿足嚴(yán)格的工藝質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn)。解決方案針對客戶需求，我們采用LTC1200系列光譜共焦傳感器（配套高精度運(yùn)動平臺與測控軟件），設(shè)計了一套非接觸式三維測厚方案：設(shè)備選型量程：±600μm（覆蓋金屬層典型厚度范圍）重復(fù)精度：0.03μm（靜態(tài)，確保基準(zhǔn)點(diǎn)數(shù)據(jù)一致性）線性誤差：＜±0.3μm（滿足亞微米級公差要求）采樣頻率：10kHz（高速掃描提升檢測效率）選用LTC1200B型號傳感器（光斑直徑約19μm），兼顧測量精度與金屬表面反射特性需求，其技術(shù)參數(shù)如下：搭配亞微米級定位平臺，確保掃描路徑精確控制?；鶞?zhǔn)點(diǎn)設(shè)定以陶瓷基板裸露區(qū)域作為基準(zhǔn)面，在正反面各設(shè)置2個重復(fù)測量點(diǎn)，通過傳感器實(shí)時比對基準(zhǔn)高度數(shù)據(jù)，消除基板翹曲或裝夾誤差對厚度計算的影響。實(shí)施流程數(shù)據(jù)采集：沿預(yù)設(shè)路徑掃描金屬塊，同步記錄輪廓點(diǎn)云與中心區(qū)高度（軟件自動擬合最高點(diǎn)作為厚度參考值）。厚度計算：基于公式：\text{金屬層厚度} = \text{金...
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如何利用光譜共焦傳感器來檢測薄膜生產(chǎn)中的薄厚偏差？

2023 - 09 - 25

在高精度的生產(chǎn)工序中，薄膜偏差是一項(xiàng)極為重要的控制指標(biāo)。由于微觀材料結(jié)構(gòu)的敏感性，稍有偏差就可能會導(dǎo)致產(chǎn)品的細(xì)微變形，從而引發(fā)性能下降、使用壽命縮短等一系列問題。因此，對薄膜偏差的精確檢測與實(shí)時調(diào)控具有至關(guān)重要的意義。對于這樣的需求，光譜共焦位移傳感器便能發(fā)揮出它重要的作用。通過實(shí)現(xiàn)對薄膜厚度的非接觸式實(shí)時監(jiān)視，它可以有效地預(yù)防或及時地調(diào)整可能發(fā)生的偏差，提高生產(chǎn)過程中的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性。原理上，光譜共焦位移傳感器利用光源通過物體后的干涉進(jìn)行測量，借助高精度的光學(xué)系統(tǒng)和高靈敏的光電檢測設(shè)備，最終得出偏差情況。另一方面，光譜共焦位移傳感器具有小型化的優(yōu)勢。它采用集成設(shè)計，尺寸小巧，可以安裝在設(shè)備內(nèi)的有限空間中，且不會影響主機(jī)性能。這大大擴(kuò)展了其使用場景，讓即使是較為狹小的環(huán)境也能實(shí)現(xiàn)精確的監(jiān)控。總結(jié)來說，光譜共焦位移傳感器代表著未來高精密度生產(chǎn)領(lǐng)域的主流趨。其不僅具備高精度、快反應(yīng)、難以受到環(huán)境干擾等優(yōu)點(diǎn)，還由于其小型化、適用于狹窄環(huán)境等特性，使其逐漸被更多的高科技領(lǐng)域所接受和采納。
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激光三角測量法是如何實(shí)現(xiàn)對透明物體測量的？折射率校正在這個過程中起到了什么作用？

2024 - 03 - 05

激光三角測量法：精確測量透明物體的科技新突破在精密測量領(lǐng)域，激光三角測量法已成為一種非常重要的技術(shù)手段。這種測量方法尤其適用于透明物體的測量，因?yàn)樗梢杂行У亟鉀Q透明物體測量中的諸多難題。本文將詳細(xì)介紹激光三角測量法的原理、步驟，以及折射率校正在此過程中所起到的關(guān)鍵作用。一、激光三角測量法的原理激光三角測量法是一種基于光學(xué)三角測量原理的非接觸式測量方法。其基本原理是：半導(dǎo)體激光器發(fā)出的激光束照射在目標(biāo)物體上，接收器透鏡聚集目標(biāo)物體反射的光線并聚焦到感光元件上。當(dāng)目標(biāo)物體與測量設(shè)備之間的距離發(fā)生改變時，通過接收器透鏡的反射光的位置也會相應(yīng)改變，光線聚焦在感光元件上的部分也會有所不同。通過精確測量這些變化，就可以得出目標(biāo)物體的位移、形狀等參數(shù)。二、激光三角測量法的步驟設(shè)定參照距離：首先，需要設(shè)定一個參照距離，即在此距離下，激光束與感光元件之間的位置關(guān)系已知且穩(wěn)定。照射激光：然后，通過半導(dǎo)體激光器發(fā)出激光束，照射在待測的透明物體上。接收反射光：接收器透鏡會聚集從透明物體反射回來的光線，并將其聚焦到感光元件上。分析數(shù)據(jù)：當(dāng)透明物體移動或形狀發(fā)生變化時，反射光在感光元件上的位置也會發(fā)生變化。通過精確分析這些變化，就可以得出透明物體的位移、形狀等參數(shù)。三、折射率校正的作用在測量透明物體時，一個關(guān)鍵的問題是需要考慮光的折射現(xiàn)象。由于透明物體的折射率與空氣不同，光線在從空氣進(jìn)入透明物體時會發(fā)生折射...

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藍(lán)光光源激光位移傳感器：優(yōu)勢、原理與特殊場景解決方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工業(yè)精密測量中，傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場景限制，而藍(lán)光光源（405nm 波長）憑借獨(dú)特物理特性實(shí)現(xiàn)突破。以下通過 “一問一答” 形式，詳解藍(lán)光傳感器的優(yōu)勢、原理構(gòu)造，并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案，看其如何解決特殊環(huán)境測量難題。1. 藍(lán)光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光，核心優(yōu)勢是什么？藍(lán)光傳感器的核心優(yōu)勢源于 405nm 波長的物理特性，相比傳統(tǒng) 655nm 左右的紅光，主要體現(xiàn)在三方面：更高橫向分辨率：根據(jù)瑞利判據(jù)，光學(xué)分辨率與波長成反比。藍(lán)光波長僅為紅光的 62%（405nm/655nm≈0.62），相同光學(xué)系統(tǒng)下橫向分辨率可提升約 38%，能形成更小光斑（如泓川 LTP025 藍(lán)光版光斑最小達(dá) Φ18μm），適配芯片針腳、晶圓等微米級結(jié)構(gòu)測量。更強(qiáng)信號穩(wěn)定性：藍(lán)光單光子能量達(dá) 3.06eV，遠(yuǎn)高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料（如橡膠、有機(jī)涂層）表面，能激發(fā)出更強(qiáng)散射信號；同時穿透性更低，僅在材料表層作用，避免內(nèi)部折射干擾，適合表面精準(zhǔn)測量。更優(yōu)抗干擾能力：藍(lán)光波段與紅熱輻射（500nm 以上）、戶外強(qiáng)光（可見光為主）重疊度低，搭配專用濾光片后，可有效隔絕高溫物體自發(fā)光、陽光直射等干擾，這是紅光難以實(shí)現(xiàn)的。2. 藍(lán)光激光位移傳感器的原理構(gòu)造是怎樣的？為何能實(shí)現(xiàn)高精度測量？藍(lán)光傳感器的高精度的核心是 “光學(xué)設(shè)計 + 信號處理 + ...

泓川科技國產(chǎn)系列光譜共焦/激光位移傳感器/白光干涉測厚產(chǎn)品性能一覽 2025 - 09 - 05 高精度測量傳感器全系列：賦能精密制造，適配多元檢測需求聚焦半導(dǎo)體、光學(xué)膜、機(jī)械加工等領(lǐng)域的精密檢測核心痛點(diǎn)，我們推出全系列高性能測量傳感器，覆蓋 “測厚、對焦、位移” 三大核心應(yīng)用場景，以 “高精準(zhǔn)、高速度、高適配” 為設(shè)計核心，為您的工藝控制與質(zhì)量檢測提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細(xì)介紹：1.LTS-IR 紅外干涉測厚傳感器：半導(dǎo)體材料測厚專屬核心用途：專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料設(shè)計，精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)晶圓等器件的厚度測量。性能優(yōu)點(diǎn)：精度卓越：±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復(fù)精度，確保測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠；量程適配：覆蓋 10μm2mm 測厚范圍，滿足多數(shù)半導(dǎo)體材料檢測需求；高效高速：40kHz 采樣速度，快速捕捉厚度數(shù)據(jù)，適配在線檢測節(jié)奏；靈活適配：寬范圍工作距離設(shè)計，可靈活匹配不同規(guī)格的檢測設(shè)備與場景。2. 分體式對焦傳感器：半導(dǎo)體 / 面板缺陷檢測的 “高速對焦助手”核心用途：針對半導(dǎo)體、面板領(lǐng)域的高精度缺陷檢測場景，提供高速實(shí)時對焦支持，尤其適配顯微對焦類檢測設(shè)備。性能優(yōu)點(diǎn)：對焦速度快：50kHz 高速對焦，同步匹配缺陷檢測的實(shí)時性需求；對焦精度高：0.5μm 對焦精度，保障缺陷成像清晰、檢測無偏差；設(shè)計靈活：分體式結(jié)構(gòu)，可根據(jù)檢測設(shè)備的安裝空間與布局靈活調(diào)整，降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀：極薄膜厚檢測的 “精密管家”核心用途：專注于極薄膜...

多方面研究泓川科技LTP系列大量程全國產(chǎn)激光位移傳感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品技術(shù)報告尊敬的客戶：感謝您對泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品的關(guān)注與信任。為幫助您全面了解我司產(chǎn)品，現(xiàn)將激光位移傳感器相關(guān)技術(shù)信息從參數(shù)指標(biāo)、設(shè)計原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計等八大核心維度進(jìn)行詳細(xì)說明，為您的選型、使用及維護(hù)提供專業(yè)參考。一、參數(shù)指標(biāo)我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列，各型號核心參數(shù)經(jīng)納米級高精度激光干涉儀標(biāo)定驗(yàn)證，確保數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠，具體參數(shù)如下表所示：表 1：LTP400EA參數(shù)表參數(shù)類別具體參數(shù)LTP400EA備注基礎(chǔ)測量參數(shù)測量中心距離400mm以量程中心位置計算（*1）量程200mm-重復(fù)精度（靜態(tài)）3μm測量標(biāo)準(zhǔn)白色陶瓷樣件，50kHz 無平均，取 65536 組數(shù)據(jù)均方根偏差（*2）線性度±0.03%F.S.（F.S.=200mm）采用納米級激光干涉儀標(biāo)定（*3）光源與光斑光源類型-激光功率可定制，部分型號提供 405nm 藍(lán)光版本（*4）光束直徑聚焦點(diǎn)光斑 Φ300μm中心位置直徑，兩端相對變大（*5）電氣參數(shù)電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護(hù)反向連接保護(hù)、過電流保護(hù)-輸出與通信模擬量輸出（選配）電壓：0-5V/010V/-1010V；電流：420mA探頭可獨(dú)立提供電壓、電流與 RS485 輸出（*6）通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網(wǎng)口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊（*7）響應(yīng)...

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