答案是肯定的,LTS-I 系列通過關鍵參數設計,直接滿足納米級測量需求,核心精度指標如下:
重復精度達納米級:測量 n=1.5 的玻璃樣品時,重復精度 < 2nm rms,誤差控制在納米級別,確保多次測量結果穩定一致。
線性誤差極小:線性誤差 <±0.1μm,進一步降低測量偏差,適合對線性度要求極高的精密場景。
精準光斑保障精度:光斑直徑僅 Φ20μm(測厚型探頭為參考距離處數值,測距型探頭為量程中心位置數值),能聚焦于微小測量點,減少非目標區域干擾。

可以,LTS-I 系列通過 “控制器 + 適配探頭” 的組合,同時覆蓋位移(測距)與厚度測量,具體配置與參數如下:
控制器核心:統一搭配 LTS-IRC5400-S 控制器,支持 1 個傳感頭連接,采樣頻率最高達 40kHz,可快速捕捉動態測量數據。
測距型方案(LTS-IRP-D20 探頭):參考距離 20mm,適合高精度位移檢測,如精密部件的位置偏移、振動位移測量。
測厚型方案(LTS-IRP-T50 探頭):參考距離 50mm,量程范圍隨被測物體折射率(n)變化,覆蓋多類材料:
n=1 時,量程 50~4000μm(如透明薄膜);
n=1.5 時,量程 33.3~2667μm(如玻璃、光學鏡片);
n=3.5 時,量程 14.3~1143μm(如高折射率晶體)。

LTS-I 系列的納米級精度與多場景適配性,使其能支撐以下高精尖領域的核心測量需求:
半導體制造領域:晶圓厚度檢測、芯片鍵合位移校準
半導體晶圓厚度需精準控制在微米級,LTS-I 的 <±0.1μm 線性誤差與 Φ20μm 小光斑,可避免損傷晶圓表面,同時 40kHz 高采樣頻率能匹配晶圓生產線的高速檢測節奏。
光學元件制造領域:透鏡厚度測量、鏡片表面位移檢測
光學透鏡(如相機鏡頭、激光鏡片)對厚度均勻性要求極高,LTS-IRP-T50 探頭可適配不同折射率鏡片(n=1.5 常見玻璃材質),結合 TSConfocalStudio 測控軟件,能實時生成厚度數據報表,便于質量管控。
精密機械裝配領域:導軌位移校準、軸承間隙測量
高端數控機床、機器人導軌的位移精度直接影響加工精度,LTS-IRP-D20 探頭的 20mm 參考距離與 ±2° 測量角度,可精準校準導軌直線度,RS485 接口(支持 Modbus 協議)還能與機械控制系統聯動,實現實時調整。
航空航天零部件測試領域:渦輪葉片厚度檢測、艙體密封件位移監測
航空發動機渦輪葉片厚度需耐受高溫且精度達標,LTS-I 系列 IP40 防護等級與 10~40℃工作溫度范圍,可適應車間測試環境,4~20mA 模擬電流輸出能直接對接航空零部件測試系統,輸出標準化數據。

除核心精度外,LTS-I 系列的硬件與軟件設計進一步適配高精尖領域的工業場景:
豐富接口兼容工業系統:支持 100BASE-TX Ethernet、USB2.0 High Speed、RS485(9600~115200 波特率)接口,可對接 PLC、工業電腦、數據采集系統,滿足自動化測量需求。
軟件與二次開發支持:自帶 TSConfocalStudio 測控軟件,可直接設置參數、查看數據;提供 C++ 及 C# 二次開發包,方便企業根據自身場景定制測量程序。
穩定的工業級性能:控制器采用 24VDC±10% 供電,電流消耗約 0.4A,重量約 5700g,便于集成到工業設備中;探頭外徑 Φ10mm(D20 探頭長度 58.5mm,T50 探頭長度 26.5mm),可在狹小空間安裝。
應用場景 | 核心測量需求 | 適配探頭型號 | 關鍵性能參數 | 接口與通信配置 | 適配優勢及備注 |
半導體制造領域 | 晶圓厚度檢測、芯片鍵合位移校準 | LTS-IRP-T50(測厚) | 重復精度<2nm rms(n=1.5 時),線性誤差<±0.1μm,量程 33.3~2667μm(n=1.5),光斑 Φ20μm,采樣頻率 40kHz | 控制器:LTS-IRC5400-S接口:100BASE-TX Ethernet、USB2.0、RS485(Modbus)輸出:4~20mA 電流、數字信號 | 零接觸測量避免晶圓損傷,Ethernet 支持高速在線檢測,搭配 TSConfocalStudio 生成質量報表 |
光學元件制造領域 | 透鏡 / 鏡片厚度測量、表面位移檢測 | LTS-IRP-T50(測厚) | 量程 50~4000μm(n=1,薄膜)、33.3~2667μm(n=1.5,玻璃),測量角度 ±2°,光斑 Φ20μm | 控制器:LTS-IRC5400-S接口:USB2.0(參數配置)、RS485(數據傳輸)輸出:0~10V 電壓、警報信號 | 適配不同折射率光學材料,小光斑確保邊緣測量精度,支持二次開發定制檢測流程 |
精密機械裝配領域 | 導軌位移校準、軸承間隙測量 | LTS-IRP-D20(測距) | 參考距離 20mm,重復精度<2nm rms,采樣頻率 40kHz,探頭尺寸 Φ10×58.5mm | 控制器:LTS-IRC5400-S接口:RS485(Modbus,聯動 PLC)、USB2.0輸入:AB/ABZ 編碼器信號 | 小尺寸探頭適配狹小安裝空間,RS485 實現與機械系統實時聯動校準,測量角度 ±2° 適配多方位檢測 |
航空航天零部件測試領域 | 渦輪葉片厚度檢測、密封件位移監測 | LTS-IRP-T50(測厚) | 量程 14.3~1143μm(n=3.5,晶體),防護等級 IP40,工作溫度 10~40℃ | 控制器:LTS-IRC5400-S接口:100BASE-TX Ethernet、RS485輸出:4~20mA 電流、比較器輸出 | 耐受工業測試環境,模擬電流輸出適配航空測試系統,高采樣頻率捕捉動態位移變化 |