光譜共焦傳感器基于波長(zhǎng)與位移的對(duì)應(yīng)關(guān)系實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量,兩者原理相似但技術(shù)路線分化明顯。
泓川科技 LTC 系列:定位于高性價(jià)比工業(yè)測(cè)量,主打 “亞微米級(jí)精度 + 多場(chǎng)景適配”,成本控制在米銥產(chǎn)品的 50% 以下,適合消費(fèi)電子、PCB、金屬加工等對(duì)精度有要求但預(yù)算有限的場(chǎng)景。
德國(guó)米銥 confocalDT:屬于高端工業(yè)測(cè)量方案,以 “納米級(jí)分辨率 + 極端環(huán)境適應(yīng)性” 為核心優(yōu)勢(shì),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、醫(yī)療設(shè)備、航空航天等高精度領(lǐng)域。

| 參數(shù)維度 | 泓川科技 LTC100B | 德國(guó)米銥 IFS2402-0.4 |
|---|
| 測(cè)量范圍 | ±0.05mm(參考距離 8mm) | 400μm(量程起點(diǎn) 1.5mm) |
| 重復(fù)精度 | 3nm | 16nm(取 512 次平均) |
| 線性誤差 | <±0.03μm | ~0.3μm(≤±0.08%FSO) |
| 光斑直徑 | Φ2.7μm/5.4μm/43.2μm | 10μm |
| 測(cè)量角度 | ±46.5° | ±8°(鏡反射場(chǎng)景) |
| 防護(hù)等級(jí) | IP40 | IP40 |
| 成本對(duì)比 | 約為米銥的 40%-50% | 高端型號(hào),成本較高 |
| 優(yōu)勢(shì) | 1. 大測(cè)量角度,適配曲面工件;2. 光斑規(guī)格多樣,適合微小目標(biāo)與表面不平整物體;3. 性價(jià)比突出。 | 1. 分辨率更高,適合納米級(jí)結(jié)構(gòu)檢測(cè);2. 鈦合金外殼,抗振動(dòng)(2g/10-500Hz)與沖擊(15g)能力更強(qiáng);3. 支持 90° 徑向測(cè)量,適合深槽內(nèi)壁檢測(cè)。 |
| 劣勢(shì) | 1. 測(cè)量范圍較小;2. 安裝傾角限制較寬松但鏡面反射場(chǎng)景精度易受影響。 | 1. 測(cè)量角度狹窄,需嚴(yán)格對(duì)準(zhǔn);2. 成本高,不適配大規(guī)模工業(yè)量產(chǎn)。 |
| 典型應(yīng)用 | 手機(jī)曲面 R 角測(cè)量、小型金屬零件輪廓檢測(cè) | 半導(dǎo)體芯片表面掃描、牙科樣本微結(jié)構(gòu)測(cè)量 |
| 參數(shù)維度 | 泓川科技 LTC2000 | 德國(guó)米銥 IFS2405-1 |
|---|
| 測(cè)量范圍 | ±1mm(參考距離 50mm) | 1mm(量程起點(diǎn) 10mm) |
| 重復(fù)精度 | 85nm | 28nm(1kHz 采樣,512 次平均) |
| 線性誤差 | <±0.6μm | <±0.25μm(≤±0.025%FSO) |
| 光斑直徑 | Φ20μm/40μm/320μm | 8μm |
| 采樣頻率 | 最高 10kHz(控制器 TS-CCS) | 最高 6.5kHz(持續(xù)可調(diào)) |
| 接口能力 | USB/RS485 / 以太網(wǎng) / 模擬量,支持 PLC 總線 | Ethernet/EtherCAT/RS422,支持工業(yè)總線同步 |
| 優(yōu)勢(shì) | 1. 測(cè)量范圍更廣,適合中距離工件;2. 控制器接口兼容性強(qiáng),適配傳統(tǒng)工業(yè)設(shè)備;3. 重量輕(162g),安裝靈活。 | 1. 線性誤差更低,適合高精度厚度測(cè)量;2. 支持 EtherCAT 高速總線,適配自動(dòng)化產(chǎn)線;3. 前端防護(hù)等級(jí) IP65,適合多塵環(huán)境。 |
| 劣勢(shì) | 1. 采樣頻率與總線兼容性略遜于米銥;2. 溫度漂移系數(shù)(≈0.1% F.S/°C)高于米銥。 | 1. 成本是 LTC 的 2-3 倍;2. 探頭重量較大(125g),動(dòng)態(tài)測(cè)量時(shí)需考慮機(jī)械負(fù)載。 |
| 典型應(yīng)用 | PCB 零件高度差測(cè)量、結(jié)構(gòu)件平面度檢測(cè) | 玻璃厚度在線監(jiān)測(cè)、多層薄膜單向測(cè)厚 |
| 參數(shù)維度 | 泓川科技 LTC系列控制器 | 米銥 IFC2421/2422 控制器 |
|---|
| 通道數(shù) | LT-CCS(1 通道)/TS-CCH(16 通道) | IFC2421(1 通道)/IFC2422(2 通道) |
| 最高采樣頻率 | 1 通道 10kHz,16 通道 4kHz | 1 通道 6.5kHz(內(nèi)置光源),外接氙燈可達(dá) 70kHz |
| 工業(yè)接口 | 標(biāo)準(zhǔn)配置,支持 Modbus / 以太網(wǎng),可選 EtherCAT | 原生支持 EtherCAT/RS422,適配工業(yè) 4.0 產(chǎn)線 |
| 軟件生態(tài) | 提供 TSConfocalStudio 軟件,支持 C++/C# 二次開(kāi)發(fā) | 支持網(wǎng)頁(yè)調(diào)試界面,集成材料數(shù)據(jù)庫(kù),開(kāi)發(fā)文檔更完善 |
| 優(yōu)勢(shì) | 1. 多通道同步采集成本低,16 通道控制器價(jià)格約為米銥的 1/3;2. 接口協(xié)議通用,適配國(guó)產(chǎn) PLC。 | 1. 采樣頻率與信號(hào)穩(wěn)定性更強(qiáng),適合高速動(dòng)態(tài)測(cè)量;2. 網(wǎng)頁(yè)調(diào)試界面簡(jiǎn)化操作,材料數(shù)據(jù)庫(kù)支持自定義擴(kuò)充。 |
| 劣勢(shì) | 1. 高速采樣時(shí)(如 10kHz)噪聲抑制能力較弱;2. 復(fù)雜場(chǎng)景下的算法優(yōu)化(如多層厚度)不如米銥。 | 1. 單通道成本高,多通道系統(tǒng)造價(jià)昂貴;2. 對(duì)工程師調(diào)試能力要求更高。 |
核心優(yōu)勢(shì):
成本控制能力突出:硬件用料(如鋁合金外殼 vs 米銥鈦合金)與供應(yīng)鏈本地化降低成本,適合 3C 產(chǎn)品、汽車零部件等大規(guī)模量產(chǎn)場(chǎng)景,相同精度下采購(gòu)成本可節(jié)省 50%-60%。
兼容性與靈活性:接口覆蓋 USB/RS485 / 模擬量等傳統(tǒng)工業(yè)協(xié)議,探頭尺寸多樣(如 C8000 直款 / 折款適配狹小空間),適配非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備改造。
基礎(chǔ)性能均衡:重復(fù)精度 3nm-300nm 覆蓋多數(shù)工業(yè)場(chǎng)景(如手機(jī)屏幕平整度檢測(cè)要求≤100nm),抗干擾能力強(qiáng)(如抗環(huán)境光 30000lx)。
應(yīng)用局限:
極端環(huán)境適應(yīng)性弱:不支持真空環(huán)境與防爆場(chǎng)景,高溫(>50℃)或振動(dòng)劇烈場(chǎng)景下精度衰減明顯。
高端功能缺失:多層厚度測(cè)量?jī)H支持 2-3 層峰值識(shí)別(米銥支持 6 層),半導(dǎo)體晶圓測(cè)厚等場(chǎng)景難以滿足。
核心優(yōu)勢(shì):
技術(shù)指標(biāo)領(lǐng)先:分辨率達(dá) 16nm,線性誤差≤0.08% FSO,適合半導(dǎo)體芯片(線寬≤10nm)、醫(yī)療導(dǎo)管(壁厚公差≤1μm)等極致精度需求。
環(huán)境魯棒性強(qiáng):鈦合金探頭 + 無(wú)磨損透鏡設(shè)計(jì),可用于真空、防爆區(qū)域(如鋰電池注液工序),溫度漂移系數(shù) < 0.03% F.S/°C,長(zhǎng)期穩(wěn)定性更優(yōu)。
系統(tǒng)集成度高:EtherCAT 總線支持納秒級(jí)同步,配合氙燈光源實(shí)現(xiàn) 70kHz 高速采樣,適配光伏硅片在線檢測(cè)等動(dòng)態(tài)場(chǎng)景。
應(yīng)用局限:
性價(jià)比劣勢(shì):?jiǎn)翁筋^成本通常超萬(wàn)元,多通道系統(tǒng)(如 16 通道)造價(jià)可達(dá) LTC 的 5-8 倍,中小批量生產(chǎn)場(chǎng)景成本壓力大。
調(diào)試門檻高:網(wǎng)頁(yè)界面需專業(yè)知識(shí)(如光譜校準(zhǔn)),非標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)量需定制算法,依賴廠商技術(shù)支持。
光譜共焦傳感器的技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)本質(zhì)是 “精度 - 成本 - 適應(yīng)性” 的三角博弈。泓川科技 LTC 系列以 “一半成本實(shí)現(xiàn) 80% 性能” 打破了高端測(cè)量的價(jià)格壁壘,成為工業(yè)量產(chǎn)的 “普及者”;而米銥 confocalDT 則以 “納米級(jí)精度 + 全場(chǎng)景覆蓋” 守住了高端制造的技術(shù)高地。用戶可根據(jù)自身場(chǎng)景的精度剛需與預(yù)算空間,在兩者之間找到最優(yōu)解 —— 畢竟,最合適的測(cè)量方案,從來(lái)不是參數(shù)表上的絕對(duì)值,而是性價(jià)比與需求的精準(zhǔn)匹配。