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關(guān)于泓川科技

專業(yè)從事激光位移傳感器，激光焊縫跟蹤系統(tǒng)研發(fā)及銷售的科技公司

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帶您了解激光位移傳感器的原理、應(yīng)用和由來

2023 - 02 - 21

激光位移傳感器是一種用于測量距離和輪廓表面的自動(dòng)光學(xué)傳感技術(shù)。它的工作原理是發(fā)射激光束，激光束被目標(biāo)表面或區(qū)域反射，然后光束返回所需的時(shí)間被轉(zhuǎn)換為距離測量。它的主要應(yīng)用是尺寸計(jì)量，可以精確測量長度、距離和粗糙度輪廓。激光位移傳感器也用于工業(yè)自動(dòng)化、機(jī)器人和機(jī)器視覺應(yīng)用。什么是激光位移傳感器？激光位移傳感器是一種用于測量距離和輪廓表面的自動(dòng)光學(xué)傳感技術(shù)。該系統(tǒng)通過從激光源發(fā)射激光來工作。然后，該激光束從目標(biāo)表面或區(qū)域反射回來。然后，光束覆蓋距離和返回所花費(fèi)的時(shí)間被轉(zhuǎn)換為距離測量或輪廓。激光位移傳感器通常由三個(gè)主要部分組成：*激光源*光學(xué)探測器*處理器激光源通常是激光二極管，其波長適合于目標(biāo)區(qū)域及其光學(xué)特性。激光二極管產(chǎn)生激光束，該激光束被引導(dǎo)到目標(biāo)表面或區(qū)域上。然后光束被反射回檢測器。根據(jù)應(yīng)用，可以用一定范圍的脈沖頻率調(diào)制光束。光束由光學(xué)檢測器檢測。檢測器將光轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，然后將其發(fā)送到處理器。然后處理器處理信息并將測量數(shù)據(jù)發(fā)送到數(shù)字顯示器或計(jì)算機(jī)。然后，數(shù)據(jù)可用于進(jìn)一步分析或控制自動(dòng)化過程。歷史：激光位移傳感器最初是在20世紀(jì)70年代開發(fā)的，是麻省理工學(xué)院研究項(xiàng)目的一部分。這項(xiàng)研究由美國陸軍研究實(shí)驗(yàn)室和美國空軍賴特實(shí)驗(yàn)室贊助。該技術(shù)最...
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深度解析泓川科技HCY系列高速高精光譜共焦傳感器性能優(yōu)勢

2025 - 01 - 09

一、光譜共焦傳感技術(shù)解密光譜共焦技術(shù)的起源，要追溯到科學(xué)家們對(duì)傳統(tǒng)成像精度局限的深刻洞察。在 20 世紀(jì) 70 年代，傳統(tǒng)成像在精密測量領(lǐng)域遭遇瓶頸，為突破這一困境，基于干涉原理的光譜共焦方法應(yīng)運(yùn)而生，開啟了高精度測量的新篇章。進(jìn)入 80 年代，科研人員不斷改進(jìn)儀器設(shè)計(jì)，引入特殊的分光元件，如同給傳感器裝上了 “精密濾網(wǎng)”，精準(zhǔn)分辨不同波長光信號(hào)；搭配高靈敏度探測器，將光信號(hào)轉(zhuǎn)化為精確數(shù)字信息。同時(shí)，計(jì)算機(jī)技術(shù)強(qiáng)勢助力，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)快速處理、動(dòng)態(tài)輸出測量結(jié)果，讓光譜共焦技術(shù)穩(wěn)步走向成熟。90 年代，納米技術(shù)、微電子學(xué)蓬勃發(fā)展，對(duì)測量精度要求愈發(fā)苛刻。科研團(tuán)隊(duì)迎難而上，開發(fā)新算法、模型優(yōu)化測量，減少誤差；增設(shè)溫度控制、機(jī)械振動(dòng)抑制功能，宛如為傳感器打造 “穩(wěn)定護(hù)盾”，確保在復(fù)雜實(shí)驗(yàn)環(huán)境下結(jié)果穩(wěn)定可靠，至此，光譜共焦技術(shù)成為精密測量領(lǐng)域的關(guān)鍵力量。添加圖片注釋，不超過 140 字（可選）二、HCY 光譜共焦傳感器工作原理（一）核心原理闡釋HCY 光譜共焦傳感器的核心在于巧妙運(yùn)用光學(xué)色散現(xiàn)象。當(dāng)內(nèi)部的白光點(diǎn)光源發(fā)出光線后，光線會(huì)迅速射向精密的透鏡組。在這里，白光如同被解開了神秘面紗，依據(jù)不同波長被精準(zhǔn)地色散開來，形成一道絢麗的 “彩虹光帶”。這些不同波長的光，各自沿著獨(dú)特的路徑前行，最終聚焦在不同的高度之上，構(gòu)建起一個(gè)精密的測量范圍 “標(biāo)尺”。當(dāng)光線抵達(dá)物體表面，會(huì)發(fā)生反射，其中特定波長的光...
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多方面研究泓川科技LTP系列大量程全國產(chǎn)激光位移傳感器

2025 - 09 - 02

泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品技術(shù)報(bào)告尊敬的客戶：感謝您對(duì)泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品的關(guān)注與信任。為幫助您全面了解我司產(chǎn)品，現(xiàn)將激光位移傳感器相關(guān)技術(shù)信息從參數(shù)指標(biāo)、設(shè)計(jì)原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等八大核心維度進(jìn)行詳細(xì)說明，為您的選型、使用及維護(hù)提供專業(yè)參考。一、參數(shù)指標(biāo)我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列，各型號(hào)核心參數(shù)經(jīng)納米級(jí)高精度激光干涉儀標(biāo)定驗(yàn)證，確保數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠，具體參數(shù)如下表所示：表 1：LTP400EA參數(shù)表參數(shù)類別具體參數(shù)LTP400EA備注基礎(chǔ)測量參數(shù)測量中心距離400mm以量程中心位置計(jì)算（*1）量程200mm-重復(fù)精度（靜態(tài)）3μm測量標(biāo)準(zhǔn)白色陶瓷樣件，50kHz 無平均，取 65536 組數(shù)據(jù)均方根偏差（*2）線性度±0.03%F.S.（F.S.=200mm）采用納米級(jí)激光干涉儀標(biāo)定（*3）光源與光斑光源類型-激光功率可定制，部分型號(hào)提供 405nm 藍(lán)光版本（*4）光束直徑聚焦點(diǎn)光斑 Φ300μm中心位置直徑，兩端相對(duì)變大（*5）電氣參數(shù)電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護(hù)反向連接保護(hù)、過電流保護(hù)-輸出與通信模擬量輸出（選配）電壓：0-5V/010V/-1010V；電流：420mA探頭可獨(dú)立提供電壓、電流與 RS485 輸出（*6）通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網(wǎng)口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊（*7）響應(yīng)...
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面對(duì)反射率不同的目標(biāo)物時(shí)，激光位移傳感器需要做哪些調(diào)整以確保測量的穩(wěn)定性？

2023 - 10 - 20

面對(duì)反射率不同的目標(biāo)物時(shí)，激光位移傳感器需要調(diào)整以下方面以確保測量的穩(wěn)定性：根據(jù)目標(biāo)物的反射率變化，調(diào)整接收光量。反射率較高的目標(biāo)物可能導(dǎo)致光量飽和，而反射率較低的目標(biāo)物可能無法獲得足夠的接收光量。因此，需要根據(jù)目標(biāo)物的反射特性，適時(shí)調(diào)整激光位移傳感器的接收光量，以使其處于最佳工作狀態(tài)。使用光量控制范圍調(diào)整功能。這種功能可以預(yù)先決定接收光量的上限和下限，縮短獲取最佳光量的時(shí)間，從而可以更快地調(diào)整光量。針對(duì)反射率較高的目標(biāo)物，需要減小激光功率和縮短發(fā)射時(shí)間，以避免光量飽和。而對(duì)于反射率較低的目標(biāo)物，則應(yīng)增大激光功率和延長發(fā)射時(shí)間，以確保獲得足夠的接收光量。在調(diào)整過程中，需要注意測量反射率急劇變化位置的穩(wěn)定程度，以及使用光量調(diào)整功能以外功能時(shí)的穩(wěn)定程度。如果無法穩(wěn)定測量反射率不同的目標(biāo)物，可能是由于目標(biāo)物的反射光因顏色、反光、表面狀況（粗度、傾斜度）等因素而發(fā)生變化，導(dǎo)致感光元件（接收光波形）上形成的光點(diǎn)狀態(tài)也會(huì)隨之變化。這種情況下，需要通過反復(fù)試驗(yàn)和調(diào)整，找到最佳的激光位移傳感器工作參數(shù)。總結(jié)來說，激光位移傳感器需要根據(jù)目標(biāo)物的反射率變化，調(diào)整接收光量、激光發(fā)射時(shí)間、激光功率和增益等參數(shù)，以確保測量的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。同時(shí)，需要注意目標(biāo)物的反射特性及其變化情況，以便及時(shí)調(diào)整激光位移傳感器的參數(shù)。
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泓川科技光學(xué)測量在半導(dǎo)體、電子部件制造中的典型應(yīng)用研究報(bào)告

2025 - 01 - 19

一、引言1.1 研究背景與意義在科技飛速發(fā)展的當(dāng)下，半導(dǎo)體和電子部件制造行業(yè)正經(jīng)歷著深刻的變革。隨著電子產(chǎn)品的功能不斷增強(qiáng)，尺寸卻日益縮小，對(duì)半導(dǎo)體和電子部件的性能、精度以及可靠性提出了極為嚴(yán)苛的要求。從智能手機(jī)、平板電腦到高性能計(jì)算機(jī)、物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備，無一不依賴于先進(jìn)的半導(dǎo)體和電子部件技術(shù)。而這些部件的質(zhì)量與性能，在很大程度上取決于制造過程中的測量、檢測和品質(zhì)管理環(huán)節(jié)。光學(xué)測量技術(shù)作為一種先進(jìn)的測量手段，憑借其高精度、非接觸、快速測量等諸多優(yōu)勢，在半導(dǎo)體和電子部件制造領(lǐng)域中發(fā)揮著愈發(fā)關(guān)鍵的作用。它能夠精確測量微小尺寸、復(fù)雜形狀以及表面形貌等參數(shù)，為制造過程提供了不可或缺的數(shù)據(jù)支持。舉例來說，在半導(dǎo)體芯片制造中，芯片的線寬、間距等關(guān)鍵尺寸的精度要求已經(jīng)達(dá)到了納米級(jí)別，光學(xué)測量技術(shù)能夠準(zhǔn)確測量這些尺寸，確保芯片的性能符合設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)。再如，在電子部件的封裝過程中，光學(xué)測量可以檢測焊點(diǎn)的形狀、尺寸以及位置，保障封裝的可靠性。光學(xué)測量技術(shù)的應(yīng)用，不僅能夠有效提高產(chǎn)品的質(zhì)量和性能，還能顯著降低生產(chǎn)成本，增強(qiáng)企業(yè)在市場中的競爭力。通過實(shí)時(shí)監(jiān)測和精確控制制造過程，能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)并糾正生產(chǎn)中的偏差，減少廢品率和返工率，提高生產(chǎn)效率。因此，深入研究光學(xué)測量在半導(dǎo)體和電子部件制造中的典型應(yīng)用，對(duì)于推動(dòng)行業(yè)的發(fā)展具有重要的現(xiàn)實(shí)意義。1.2 研究目的與方法本報(bào)告旨在深入剖析光學(xué)測量在半導(dǎo)體和電子部件制造測量、檢測...
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激光位移傳感器測量技巧深度解析與應(yīng)用指南（上）

2025 - 01 - 14

一、引言1.1 激光位移傳感器概述激光位移傳感器，作為工業(yè)測量領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備，憑借其卓越的非接觸測量特性，正日益成為眾多行業(yè)實(shí)現(xiàn)高精度測量與自動(dòng)化控制的核心技術(shù)。它主要利用激光的反射特性，通過精確測量反射光的相關(guān)參數(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)物體的位移、距離、厚度等幾何量的精準(zhǔn)測定。這一技術(shù)的誕生，為現(xiàn)代制造業(yè)、科研實(shí)驗(yàn)以及諸多工業(yè)生產(chǎn)過程，提供了高效、可靠且精準(zhǔn)的測量手段。其工作原理基于激光三角測量法和激光回波分析法。激光三角測量法常用于高精度、短距離測量場景。在該方法中，激光位移傳感器發(fā)射出一束激光，射向被測物體表面，物體表面反射的激光經(jīng)由特定的光學(xué)系統(tǒng)，被傳感器內(nèi)部的探測器接收。根據(jù)激光發(fā)射點(diǎn)、反射點(diǎn)以及探測器接收點(diǎn)之間所構(gòu)成的三角幾何關(guān)系，通過精密的計(jì)算，能夠精確得出物體與傳感器之間的距離。激光回波分析法更適用于遠(yuǎn)距離測量，傳感器以每秒發(fā)射大量激光脈沖的方式，向被測物體發(fā)送信號(hào)，隨后依據(jù)激光脈沖從發(fā)射到被接收的時(shí)間差，精確計(jì)算出物體與傳感器之間的距離。在工業(yè)測量領(lǐng)域，激光位移傳感器的重要地位不容小覷。在汽車制造行業(yè)，它被廣泛應(yīng)用于車身零部件的尺寸檢測、裝配精度控制等環(huán)節(jié)。通過對(duì)汽車零部件的精確測量，能夠確保各個(gè)部件的尺寸符合設(shè)計(jì)要求，從而提升整車的裝配質(zhì)量和性能。在電子制造領(lǐng)域，激光位移傳感器可用于檢測芯片的尺寸、平整度以及電子元件的貼裝精度等。在芯片制造過程中，其微小的尺寸和極高的精...
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光譜共焦傳感器在厚度測量中的應(yīng)用研究報(bào)告（下）

2025 - 01 - 29

五、光譜共焦傳感器測量厚度的局限性及解決措施5.1 局限性分析5.1.1 測量范圍限制光譜共焦傳感器的測量范圍相對(duì)有限，一般在幾毫米到幾十毫米之間。這是由于其測量原理基于色散物鏡對(duì)不同波長光的聚焦特性，測量范圍主要取決于色散物鏡的軸向色差范圍以及光譜儀的工作波段。在實(shí)際應(yīng)用中，對(duì)于一些大尺寸物體的厚度測量，如厚壁管材、大型板材等，可能需要多次測量拼接數(shù)據(jù)，增加了測量的復(fù)雜性和誤差來源。例如，在測量厚度超過傳感器量程的大型金屬板材時(shí)，需要移動(dòng)傳感器進(jìn)行多次測量，然后將測量數(shù)據(jù)進(jìn)行拼接處理，但在拼接過程中可能會(huì)因測量位置的定位誤差、測量角度的變化等因素導(dǎo)致測量結(jié)果的不準(zhǔn)確。5.1.2 對(duì)被測物體表面狀態(tài)的要求雖然光譜共焦傳感器對(duì)多種材料具有良好的適用性，但被測物體表面的粗糙度、平整度等因素仍會(huì)對(duì)測量精度產(chǎn)生一定影響。當(dāng)被測物體表面粗糙度較大時(shí)，表面的微觀起伏會(huì)導(dǎo)致反射光的散射和漫反射增強(qiáng)，使得反射光的強(qiáng)度分布不均勻，從而影響光譜儀對(duì)反射光波長的準(zhǔn)確檢測，導(dǎo)致測量誤差增大。對(duì)于表面平整度較差的物體，如存在明顯翹曲或彎曲的板材，會(huì)使傳感器與物體表面的距離在不同位置發(fā)生變化，超出傳感器的測量精度范圍，進(jìn)而影響厚度測量的準(zhǔn)確性。例如，在測量表面粗糙的橡膠板材時(shí)，由于橡膠表面的微觀紋理和不規(guī)則性，測量精度會(huì)明顯下降，難以達(dá)到對(duì)光滑表面測量時(shí)的高精度水平。5.1.3 成本相對(duì)較高光譜共焦傳感器作為...
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新型安全激光掃描儀的優(yōu)點(diǎn)特性介紹

2023 - 02 - 26

今天我為大家展示安全激光掃描儀產(chǎn)品，安全激光掃描儀適用于各種應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域，在設(shè)備開發(fā)期間我們給予了特別關(guān)注，以確保它能夠在廣泛應(yīng)用中發(fā)揮最佳功能，尤其重視大型工作區(qū)域的防護(hù)，例如機(jī)床正面區(qū)域或機(jī)器人工作區(qū)域。其他應(yīng)用包括移動(dòng)車輛的防護(hù)，例如側(cè)向滑動(dòng)裝置或移動(dòng)運(yùn)輸設(shè)備，無人駕駛運(yùn)輸系統(tǒng)。甚至垂直安裝激光掃描儀的出入口保護(hù)系統(tǒng)。盡管我們?cè)诎踩す鈷呙枧c領(lǐng)域，已經(jīng)有數(shù)10年的經(jīng)驗(yàn)了，但該應(yīng)用領(lǐng)域仍然面對(duì)許多挑戰(zhàn)。不過我們的激光安全掃描儀具有獨(dú)一無二的功能屬性，例如具有8.25米檢測距離和270度掃描范圍。屬于目前市場上的高端設(shè)備，非常適合側(cè)向滑動(dòng)裝置正面區(qū)域等大型區(qū)域或長距離的防護(hù)。該設(shè)備的另一個(gè)亮點(diǎn)就是能夠同時(shí)監(jiān)測兩個(gè)保護(hù)功能。這在許多應(yīng)用領(lǐng)域中，獨(dú)具優(yōu)勢以前需要使用兩個(gè)設(shè)備，如今只需要使用一臺(tái)這樣的安全激光掃描儀，即可完成兩臺(tái)設(shè)備的功能。實(shí)踐中遇到的一項(xiàng)挑戰(zhàn)是設(shè)計(jì)一款異常強(qiáng)骨的激光安全掃描儀。能夠適應(yīng)周圍環(huán)境中可能存在的灰塵和顆粒等惡劣條件，因此我們提供了較分辨率達(dá)到0.1度的設(shè)備。它在目前市場上具有非常高的價(jià)值。 ...

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藍(lán)光光源激光位移傳感器：優(yōu)勢、原理與特殊場景解決方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工業(yè)精密測量中，傳統(tǒng)紅光激光位移傳感器常受高反射、半透明、高溫紅熱等特殊場景限制，而藍(lán)光光源（405nm 波長）憑借獨(dú)特物理特性實(shí)現(xiàn)突破。以下通過 “一問一答” 形式，詳解藍(lán)光傳感器的優(yōu)勢、原理構(gòu)造，并結(jié)合泓川科技 LTP 系列定制方案，看其如何解決特殊環(huán)境測量難題。1. 藍(lán)光光源激光位移傳感器相比傳統(tǒng)紅光，核心優(yōu)勢是什么？藍(lán)光傳感器的核心優(yōu)勢源于 405nm 波長的物理特性，相比傳統(tǒng) 655nm 左右的紅光，主要體現(xiàn)在三方面：更高橫向分辨率：根據(jù)瑞利判據(jù)，光學(xué)分辨率與波長成反比。藍(lán)光波長僅為紅光的 62%（405nm/655nm≈0.62），相同光學(xué)系統(tǒng)下橫向分辨率可提升約 38%，能形成更小光斑（如泓川 LTP025 藍(lán)光版光斑最小達(dá) Φ18μm），適配芯片針腳、晶圓等微米級(jí)結(jié)構(gòu)測量。更強(qiáng)信號(hào)穩(wěn)定性：藍(lán)光單光子能量達(dá) 3.06eV，遠(yuǎn)高于紅光的 2.05eV。在低反射率材料（如橡膠、有機(jī)涂層）表面，能激發(fā)出更強(qiáng)散射信號(hào)；同時(shí)穿透性更低，僅在材料表層作用，避免內(nèi)部折射干擾，適合表面精準(zhǔn)測量。更優(yōu)抗干擾能力：藍(lán)光波段與紅熱輻射（500nm 以上）、戶外強(qiáng)光（可見光為主）重疊度低，搭配專用濾光片后，可有效隔絕高溫物體自發(fā)光、陽光直射等干擾，這是紅光難以實(shí)現(xiàn)的。2. 藍(lán)光激光位移傳感器的原理構(gòu)造是怎樣的？為何能實(shí)現(xiàn)高精度測量？藍(lán)光傳感器的高精度的核心是 “光學(xué)設(shè)計(jì) + 信號(hào)處理 + ...

泓川科技國產(chǎn)系列光譜共焦/激光位移傳感器/白光干涉測厚產(chǎn)品性能一覽 2025 - 09 - 05 高精度測量傳感器全系列：賦能精密制造，適配多元檢測需求聚焦半導(dǎo)體、光學(xué)膜、機(jī)械加工等領(lǐng)域的精密檢測核心痛點(diǎn)，我們推出全系列高性能測量傳感器，覆蓋 “測厚、對(duì)焦、位移” 三大核心應(yīng)用場景，以 “高精準(zhǔn)、高速度、高適配” 為設(shè)計(jì)核心，為您的工藝控制與質(zhì)量檢測提供可靠技術(shù)支撐。以下為各產(chǎn)品系列的詳細(xì)介紹：1.LTS-IR 紅外干涉測厚傳感器：半導(dǎo)體材料測厚專屬核心用途：專為硅、碳化硅、砷化鎵等半導(dǎo)體材料設(shè)計(jì)，精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)晶圓等器件的厚度測量。性能優(yōu)點(diǎn)：精度卓越：±0.1μm 線性精度 + 2nm 重復(fù)精度，確保測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定可靠；量程適配：覆蓋 10μm2mm 測厚范圍，滿足多數(shù)半導(dǎo)體材料檢測需求；高效高速：40kHz 采樣速度，快速捕捉厚度數(shù)據(jù)，適配在線檢測節(jié)奏；靈活適配：寬范圍工作距離設(shè)計(jì)，可靈活匹配不同規(guī)格的檢測設(shè)備與場景。2. 分體式對(duì)焦傳感器：半導(dǎo)體 / 面板缺陷檢測的 “高速對(duì)焦助手”核心用途：針對(duì)半導(dǎo)體、面板領(lǐng)域的高精度缺陷檢測場景，提供高速實(shí)時(shí)對(duì)焦支持，尤其適配顯微對(duì)焦類檢測設(shè)備。性能優(yōu)點(diǎn)：對(duì)焦速度快：50kHz 高速對(duì)焦，同步匹配缺陷檢測的實(shí)時(shí)性需求；對(duì)焦精度高：0.5μm 對(duì)焦精度，保障缺陷成像清晰、檢測無偏差；設(shè)計(jì)靈活：分體式結(jié)構(gòu)，可根據(jù)檢測設(shè)備的安裝空間與布局靈活調(diào)整，降低適配難度。3. LT-R 反射膜厚儀：極薄膜厚檢測的 “精密管家”核心用途：專注于極薄膜...

多方面研究泓川科技LTP系列大量程全國產(chǎn)激光位移傳感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品技術(shù)報(bào)告尊敬的客戶：感謝您對(duì)泓川科技激光位移傳感器產(chǎn)品的關(guān)注與信任。為幫助您全面了解我司產(chǎn)品，現(xiàn)將激光位移傳感器相關(guān)技術(shù)信息從參數(shù)指標(biāo)、設(shè)計(jì)原理、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等八大核心維度進(jìn)行詳細(xì)說明，為您的選型、使用及維護(hù)提供專業(yè)參考。一、參數(shù)指標(biāo)我司激光位移傳感器涵蓋 LTP400 系列與 LTP450 系列，各型號(hào)核心參數(shù)經(jīng)納米級(jí)高精度激光干涉儀標(biāo)定驗(yàn)證，確保數(shù)據(jù)精準(zhǔn)可靠，具體參數(shù)如下表所示：表 1：LTP400EA參數(shù)表參數(shù)類別具體參數(shù)LTP400EA備注基礎(chǔ)測量參數(shù)測量中心距離400mm以量程中心位置計(jì)算（*1）量程200mm-重復(fù)精度（靜態(tài)）3μm測量標(biāo)準(zhǔn)白色陶瓷樣件，50kHz 無平均，取 65536 組數(shù)據(jù)均方根偏差（*2）線性度±0.03%F.S.（F.S.=200mm）采用納米級(jí)激光干涉儀標(biāo)定（*3）光源與光斑光源類型-激光功率可定制，部分型號(hào)提供 405nm 藍(lán)光版本（*4）光束直徑聚焦點(diǎn)光斑 Φ300μm中心位置直徑，兩端相對(duì)變大（*5）電氣參數(shù)電源電壓DC9-36V-功耗約 2.5W-短路保護(hù)反向連接保護(hù)、過電流保護(hù)-輸出與通信模擬量輸出（選配）電壓：0-5V/010V/-1010V；電流：420mA探頭可獨(dú)立提供電壓、電流與 RS485 輸出（*6）通訊接口RS485 串口、TCP/IP 網(wǎng)口可選配模擬電壓 / 電流輸出模塊（*7）響應(yīng)...

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